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Nuevo tipo de método de fabricación de objetivos de aleación de titanio y aluminio

2021年10月10日

Actualmente, Las principales plantas de fabricación de objetivos de pulverización catódica del mundo utilizan dos métodos diferentes para la fabricación de objetivos de pulverización catódica de aleación de aluminio.. Fabricado mediante moldeo por pulverización.En lo que respecta a los métodos de fundición / forja conocidos., durante la producción de objetivos de pulverización catódica de aleación de aluminio, la adición de elementos de aleación a menudo provoca la segregación de los objetivos de pulverización catódica de aleación de aluminio, lo que a su vez hace que la calidad de las películas de pulverización catódica sea más pobre y la superficie del objetivo de pulverización catódica es propensa a producir micropartículas, que también afectará la uniformidad de las propiedades de la película. Si el objetivo de pulverización catódica de aleación de aluminio se fabrica mediante el método conocido de formación por pulverización, aunque las desventajas relacionadas mencionadas anteriormente se pueden evitar, Hará el objetivo de la pulverización catódica El costo de producción aumenta considerablemente, especialmente cuando se hacen algunos objetivos de pulverización catódica que no son fáciles de falsificar y deben usar ecualización en caliente, el costo aumentará debido al uso de ecualización en caliente.

Para hacer que el proceso de producción de los objetivos de aleación de titanio y aluminio sea más fácil y de menor costo, aquí hay un método para hacer objetivos de pulverización catódica de aleación de aluminio con polvo de pulverización de gas. Comparado con el polvo de materia prima del objetivo de pulverización catódica, el polvo de aleación se tamiza para obtener el tamaño de partícula de polvo apropiado, y finalmente el polvo es prensado en caliente al vacío para hacer el objetivo de pulverización catódica de aleación de aluminio. (aluminio-cromo, aluminio-silicio-cobre, aluminio-titanio, etc.). Los pasos de implementación preferidos son: Proporcionar materias primas metálicas para fabricar objetivos de pulverización catódica de aleación de aluminio y fundirlos en metal fundido.; luego, Utilice el método de pulverización de gas para hacer polvos metálicos a partir del metal fundido.; finalmente, calentar los polvos metálicos con vacío Formado en aleación de aluminio de material objetivo de pulverización catódica, y pasar gas inerte como gas protector.Este método puede evitar las deficiencias de la segregación del material y las micropartículas, y hacer que los objetivos de pulverización catódica de alta calidad sean más rápidos y económicos.

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