Fabricación y aplicación de objetivos de pulverización de titanio y aluminio recubiertos de PVD

Método de fundición y método de pulvimetalurgia utilizados tradicionalmente para producir un objetivo de aleación de titanio y aluminio.

El método de fundición de los objetivos de aleación de titanio y aluminio no puede evitar la porosidad y la contracción.. Los tubos y lingotes de fundición de aluminio de titanio de gran tamaño no pueden garantizar el sellado y el efecto impermeable al hacer el objetivo del tubo giratorio, y como la pared del tubo está grabada, el espesor de la pared cambia Delgado, agujeros sueltos y de contracción siempre que haya un agujero conectado, el sellado empeorará, los más ligeros se filtrarán, el tubo de destino comenzará a descargar, o una gran cantidad de impureza participará en la reacción y hará que la película se caiga o el color sea incorrecto. En casos severos, el agua se inyecta directamente desde la cavidad de contracción a la cámara de vacío, que contaminará la cavidad real y la unidad de vacío.

Producción de procesos de pulvimetalurgiaBlanco de aluminio de titanioNo hay problema de porosidad y contracción., pero desde el punto de vista microscópico de la pulvimetalurgia, también es un material poroso, así que si quieres hacerObjetivo de tubo giratorio de titanio y aluminio, Los requisitos de compacidad del material son muy estrictos., la densidad debe ser mayor que 98%, pero cumplir con los requisitos de densidad no significa que se pueda usar.Si el contenido de oxígeno del lingote de titanio y aluminio es alto y la microestructura no es razonable, la tensión interna del lingote de titanio y aluminio es grande, y es fácil colapsar, y no se puede utilizar como un objetivo de tubo giratorio. Por lo tanto, Existen muchos requisitos para la producción de polvo y la relación de tamaño de partícula, incluso si se cumplen estas condiciones., el anillo de titanio y aluminio de pulvimetalurgia debe estar unido al tubo de acero inoxidable o al tubo de titanio. Debido al gran coeficiente de expansión térmica del titanio y aluminio, la expansión objetivo local puede llegar a cero durante la pulverización catódica .. 5 ～ 1 m, por lo que el método tradicional de encuadernación de lingotes no puede resolver eficazmente este problema. Se produce la separación de los lingotes de unión de titanio y aluminio., y la energía térmica de la superficie objetivo no se puede conducir y estalla., el estrecho vínculo coincidente no es confiable, y la calidad del objetivo de aleación de titanio y aluminio pulverizado con plasma es deficiente..

Revestimiento decorativo de oro rosa en el reloj., joyas, y las industrias de las gafas. Recientemente, muchos requisitos no contienen carbono y, además, hacen que el color de la rosa subyacente se acerque al oro rosa de la cara. En nuestra opinión, TiCN ya no puede cumplir con los requisitos. TiAlN es la solución más perfecta. Las joyas de relojes de gama baja no tienen requisitos de grosor y brillo de la película.. La mayoría de ellos utilizan objetivos de arco de titanio y aluminio para depositar TiAlN. Los relojes de marcas de alta gama requieren un grosor de más de 1um y brillo. No se puede caer. El arco se ve afectado por las gotas y no tiene ninguna ventaja en una película suave y gruesa.O'KellySe puede ver en la retroalimentación del pedido de suministro actual que una mejor manera es depositar TiAIN con un objetivo de tubo giratorio., no solo el color es más cercano al oro rosa, pero el brillo no se verá afectado después de que se aumente el grosor..