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Análisis del problema de envenenamiento y ennegrecimiento de la mitad objetivo después de la pulverización catódica.

2021年8月31日

 

Pregunta: La tecnología de pulverización catódica de magnetrón reactivo deposita una película de nitruro de circonio, el objetivo es de dos pulgadas, el gas pulverizado es argón, el gas reactivo es N2, la potencia es 300W, la fuente de alimentación de radiofrecuencia, la deposición es de dos horas, y el objetivo se elimina después de la finalización. Mira el fenómeno descrito en el título., si se trata de una intoxicación objetivo u otras razones, pero por qué solo aparece la mitad?

Análisis de la razón 1: Puede estar relacionado con la introducción de energía de radiofrecuencia.

Análisis de la razón 2: Un objetivo tan pequeño, dos pulgadas?Es el uniforme de enfriamiento?

Análisis de la razón 3: 300Se agrega potencia W a un objetivo tan pequeño, ¿Puede el enfriamiento mantenerse? Se sospecha que el enfriamiento no es bueno, causando la mitad del negro!

Análisis de la razón 4: enfriamiento insuficiente ¿Es la temperatura demasiado alta?

Análisis de la razón 5: Puede estar relacionado con la alta potencia.. Solo me atrevo a aumentar el poder del objetivo con un diámetro de 60 a aproximadamente 100W.

Análisis de causa 6: ¿La fuente de alimentación es estable en dos horas? Puede ser que la energía sea demasiado alta, o puede ser que el lado del objetivo toque un componente conectado a tierra

Análisis de la razón 7: Se sospecha que hay un problema de estanqueidad., pensar personalmente

Solución 1: Sugerencia 1) Verifique la uniformidad del gas; 2) Si hay fugas de aire en un lado.?

Solución 2: Se recomienda hacer un análisis XPS, o haz el experimento de nuevo.

Resumen: Basado en el análisis anterior, las principales razones que hacen que el objetivo se envenene y se ennegrezca son temperaturas excesivamente altas, fuente de alimentación inestable, uniformidad del gas y estanqueidad al aire Compruebe estas posibles causas principales, y solucionarlos paso a paso.

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