Στόχοι ψεκασμού

Κατάλογος τεχνικών παραμέτρων της πολυεπίπεδης μηχανής οπτικής επίστρωσης

μοντέλο

GX-1050A

GX-800A

GX-900A

GX1200A

Μέγεθος δωματίου επικάλυψης

Φ1050 × 1250, 304 ανοξείδωτο ατσάλι.

Φ800 × 1000

900 Ф 1050

Φ1200 × 1250

Εσωτερικό μέγεθος κοιλότητας επικάλυψης

Η βάση στήριξης είναι 1680mm πάνω από το έδαφος, κατάλληλο για εργονομικό ύψος λειτουργίας.

Η βάση στήριξης είναι 1468 mm πάνω από το έδαφος, κατάλληλο για εργονομικό ύψος λειτουργίας.

Η βάση στήριξης είναι 1510mm πάνω από το έδαφος, κατάλληλο για εργονομικό ύψος λειτουργίας.

1.Τοξωτός δίσκος ενός τεμαχίου, για να συναντήσουμε πελάτες’ ανάγκες για ομοιομορφία σε μεγαλύτερο βαθμό. Περιστροφή 5-30r/min, απρόσκοπτη αλλαγή ταχύτητας.

2.Ο τοξωτός δίσκος τριών τεμαχίων, πλανητική επανάσταση και περιστροφή, για να καλύψει τις ανάγκες των πελατών για παραγωγική ικανότητα στο μέγιστο βαθμό. Περιστροφή 5-30r/min, απρόσκοπτη αλλαγή ταχύτητας.

Αναπόσπαστο εξάρτημα

Διατίθεται σε τέσσερα τεμάχια, η γωνία του βραχίονα είναι ρυθμιζόμενη, για να καλύψει τις ανάγκες των πελατών για ομοιομορφία σε μεγαλύτερο βαθμό. Περιστροφή 5-30r/min, απρόσκοπτη αλλαγή ταχύτητας.

Τοξωτός δίσκος ενός τεμαχίου, για να συναντήσουμε πελάτες’ ανάγκες για ομοιομορφία σε μεγαλύτερο βαθμό. Περιστροφή 5-30r/min, απρόσκοπτη αλλαγή ταχύτητας.

Σύστημα κενού

Μονάδα: αντλία διάχυσης DIP-12000 (Leybold), Αντλία ριζών ZJY-300, μηχανική αντλία 2X-70, αντλία συντήρησης 2X-8. Ο αγωγός είναι 304 ανοξείδωτο ατσάλι.

Μονάδα: Αντλία διάχυσης KT-400 (Zhenhua), Αντλία ριζών ZJY-150, μηχανική αντλία 2X-70, αντλία συντήρησης 2Χ-8.

Μονάδα: αντλία διάχυσης KT-600 (Zhenhua), Αντλία ριζών ZJY-600, μηχανική αντλία 2X-70, αντλία συντήρησης 2Χ-8.

Μονάδα: Αντλία διάχυσης KT-800 (Zhenhua), Αντλία ριζών ZJY-600, μηχανική αντλία 2X-70, αντλία συντήρησης 2Χ-8.

Το απόλυτο κενό: καλύτερο από 4 × 10-4 Pa.

Εξοπλισμένο με συσκευή αντι-αναταραχής, σχεδιασμός ασφάλισης διασύνδεσης, χειροκίνητο και αυτόματο προαιρετικό.

Σύστημα θέρμανσης

Μέθοδος θέρμανσης σε σωλήνα θέρμανσης, Έλεγχος PID, μέγιστο 350 ± ± 1,5 ℃.

Πληθωρισμός αερίου εργασίας

Όργανο ελέγχου ροής μάζας αερίου ή χειροκίνητη ρύθμιση της βαλβίδας φουσκώματος.

Βομβαρδισμός ιονισμού κενού

DC 3KV, 06Κάθοδος ράβδου KW (χρησιμοποιείται για τον καθαρισμό του τεμαχίου πριν την επικάλυψη).

Πηγή εξάτμισης (προαιρετικός)

1. Ηλεκτρονικό πιστόλι TELEMARK-270 ° (εισαγόμενος), 6KW, υψηλής τάσης 4KV-10KV ρυθμιζόμενο. Σάρωση τοποθέτησης, τριγωνική σάρωση κυμάτων, κυκλική σάρωση, σπειροειδής σάρωση. Καλή εστίαση σημείου δέσμης, υψηλή ακρίβεια τοποθέτησης, και καλή αναπαραγωγιμότητα σάρωσης.

2. Εγχώριο ηλεκτρονικό πιστόλι (Zhenhua): 6KW, υψηλής τάσης 4KV ～ 8KV ρυθμιζόμενο, μπορεί να επιλέξει κύμα τριγώνου, ημιτονοειδές κύμα, τετραγωνικό κύμα σάρωση ελεύθερα.

3. Χωνευτήριο: έξι κοιλότητες Φ38 × 20 χωνευτήρι ή τέσσερις κοιλότητες Φ38 × 20 συν ένα χωνευτήριο σε σχήμα τόξου με μία κοιλότητα με κεντρικό μήκος τόξου 87 (χρησιμοποιείται για υψηλή κατανάλωση υλικών εξάτμισης χαμηλού σημείου τήξης) ή χωνευτήριο τεσσάρων κοιλοτήτων Φ48 × 18.

Πηγή ιόντων (προαιρετικός)

1. RF (Ραδιοσυχνοτητα) Πηγή Ιον (Εισαγόμενος).

2. 5Πηγή ιόντων KVA Hall (παραγωγή της Zhenhua), χρησιμοποιείται για καθαρισμό πριν από την επιμετάλλωση ή τη βοηθητική επίστρωση κατά τη διαδικασία της επιμετάλλωσης, που είναι ευεργετικό για τη βελτίωση του δείκτη διάθλασης της ταινίας, η σταθερότητα, και την πυκνότητα και την πρόσφυση της μεμβράνης.

Σύστημα ελέγχου πάχους φιλμ (επιλογή)

1. Κρυστάλλινος ελεγκτής MDC-360 (εισαγόμενος) μπορεί να αποθηκεύσει 1 ～ 99 στρώματα αυτόματης διαδικασίας επίστρωσης, 99 είδη δεδομένων προγράμματος, ακρίβεια 0.5%+1? Διορθώθηκε το σφάλμα.2TELEMARK-880 κρύσταλλο ελέγχου (εισαγωγή): μπορεί να αποθηκεύσει 1 ～ 99 στρώματα αυτόματης διαδικασίας επίστρωσης, 99 είδη δεδομένων προγράμματος. 精度 0,5%+1? Διορθώθηκε το σφάλμα.

3. Οπτικός ελεγκτής TELEMARK-820 (εισαγωγή): υιοθετεί τεχνολογία ανάλυσης τελικού σημείου πολλαπλού μήκους κύματος, και κρίνει το τέλος της ταινίας αναλύοντας τη μετάδοση (ή ανακλαστικότητα) καμπύλη του φύλλου οθόνης 370-870 mm. Υψηλή ακρίβεια ελέγχου, έλεγχος ενός μήκους κύματος, μπορεί επίσης να χρησιμοποιηθεί αυτόματος έλεγχος και χειροκίνητος έλεγχος. Πρόσθετο λογισμικό υπολογισμού φιλμ MACILEOD, υψηλό βαθμό ολοκλήρωσης.

4. Ο οπτικός ελεγκτής TELEMARK-820 και ο κρυστάλλινος ελεγκτής TELEMARK-880 μπορούν να ικανοποιήσουν τις απαιτήσεις της επίστρωσης υψηλής ακρίβειας και υψηλής επαναληψιμότητας. Συνεργαστείτε με τον κεντρικό υπολογιστή για να πραγματοποιήσετε πλήρως αυτόματο έλεγχο.

5. Οικιακός οπτικός ελεγκτής (όπως 9704 ταιριαστό μονόχρωμο, και τα λοιπά.), το μήκος κύματος είναι ρυθμιζόμενο από 330 προς το 870, και η ακρίβεια μπορεί να φτάσει ± 1,5nm.

Μεταδίδων

Με μαγνητική βάση, μπορεί να τοποθετηθεί σε οποιαδήποτε θέση της πόρτας του θαλάμου κενού και του ντουλαπιού ελέγχου.

Sputtering Στόχοι