Καλώς ήρθατε στην ιστοσελίδα μας
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Νέα

Sputtering Στόχοι Νέα

Ανάλυση του προβλήματος δηλητηρίασης και μαυρίσματος του μισού στόχου μετά από ψεκασμό

2021年8月31日

 

Ερώτηση: Η αντιδραστική τεχνολογία ψεκασμού μαγνητρόνης εναποθέτει φιλμ νιτριδίου ζιρκονίου, ο στόχος είναι δύο ίντσες, το αέριο που εκτοξεύει είναι το αργό, το αντιδραστικό αέριο είναι Ν2, η ισχύς είναι 300W, την τροφοδοσία ραδιοσυχνοτήτων, η κατάθεση είναι δύο ώρες, και ο στόχος αφαιρείται μετά την ολοκλήρωση. Δείτε το φαινόμενο που περιγράφεται στον τίτλο, είτε πρόκειται για δηλητηρίαση στόχου είτε για άλλους λόγους, αλλά γιατί εμφανίζεται μόνο το μισό?

Ανάλυση λόγου 1: Μπορεί να σχετίζεται με την εισαγωγή ισχύος ραδιοσυχνοτήτων

Ανάλυση λόγου 2: Ένας τόσο μικρός στόχος, δύο ίντσες?Είναι η ψύξη ομοιόμορφη?

Ανάλυση λόγου 3: 300Η ισχύς W προστίθεται σε έναν τόσο μικρό στόχο, μπορεί να συνεχιστεί η ψύξη Υποπτεύεται ότι η ψύξη δεν είναι καλή, προκαλώντας το μισό μαύρο!

Ανάλυση λόγου 4: ανεπαρκής ψύξη. Είναι η θερμοκρασία πολύ υψηλή?

Ανάλυση λόγου 5: Μπορεί να σχετίζεται με την υψηλή ισχύ. Τολμώ μόνο να αυξήσω τη δύναμη του στόχου με διάμετρο 60 σε περίπου 100W.

Ανάλυση αιτίας 6: Είναι η παροχή ρεύματος σταθερή σε δύο ώρες Μπορεί να είναι ότι η ενέργεια είναι πολύ υψηλή, ή μπορεί η πλευρά του στόχου να αγγίζει ένα γειωμένο στοιχείο

Ανάλυση λόγου 7: Υπάρχει υποψία ότι υπάρχει πρόβλημα στεγανότητας αέρα, προσωπικά σκέφτομαι

Λύση 1: Πρόταση 1) Ελέγξτε την ομοιομορφία του αερίου; 2) Αν υπάρχει διαρροή αέρα από τη μία πλευρά?

Λύση 2: Συνιστάται να κάνετε ανάλυση XPS, ή κάντε ξανά το πείραμα.

Περίληψη: Με βάση την παραπάνω ανάλυση, οι κύριοι λόγοι που προκαλούν τον στόχο να δηλητηριαστεί και να είναι μαύρος είναι η υπερβολικά υψηλή θερμοκρασία, ασταθής παροχή ρεύματος, ομοιομορφία αερίου και αεροστεγανότητα. Ελέγξτε αυτές τις πιθανές κύριες αιτίες, και να τα αντιμετωπίσετε βήμα προς βήμα.

Sputtering Στόχοι

  • Sputtering Στόχοι

  • Sputtering Στόχοι & Sputtering Στόχοι

  • Sputtering Στόχοι

  • ΕΤΑΙΡΙΑ

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., Ltd. είναι μια κινεζική επιχείρηση που ειδικεύεται στην επεξεργασία μη σιδηρούχων μετάλλων, εξυπηρετώντας παγκόσμιους πελάτες με προϊόντα υψηλής ποιότητας και τέλεια εξυπηρέτηση μετά την πώληση.

  • Επικοινωνήστε μαζί μας

    Κινητό:86-400-660-1855
    ΗΛΕΚΤΡΟΝΙΚΗ ΔΙΕΥΘΥΝΣΗ:[email protected] aliyun.com
    Ιστός:www.chn-ti.com