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Was sind die üblichen keramischen Sputtertargets?

2021年10月10日

Mit der Entwicklung der Elektronikindustrie, Hightech-Materialien werden allmählich zu dünnen Schichten, und während der Beschichtungszeit, sie entwickeln sich schnell. Das Ziel ist ein spezielles elektronisches Material mit hohem Mehrwert, und es ist die Quelle für das Sputtern von Dünnschichtmaterialien. Als Grundmaterial für die Entwicklung der nichtmetallischen Dünnschichtindustrie, Keramik-Targets haben eine beispiellose Entwicklung erreicht, und der Zielmarkt wächst von Tag zu Tag..

Inländische keramische Flachtargets verwenden hauptsächlich Sinter- und Bindeverfahren, die eine maximale Länge von 600 mm produzieren kann, eine maximale Breite von 400mm, und eine maximale Dicke von 30 mm. Die abgerundeten Ecken, abgeschrägte Kanten, Stufen und andere Sonderformen können nach Kundenwunsch bearbeitet werden..

Zu den gängigen Keramikzielen gehören hauptsächlich: DIESES Ziel, Magnesiumoxid-Target, Eisenoxid-Target, Siliziumnitrid-Target, Siliziumkarbid-Target, Titannitrid-Target, Chromoxid-Target, Zinkoxid-Target, Siliziummonoxid-Target, Ceroxid-Target, Zinksulfid-Target, Siliziumdioxid-Target, Zirkoniumdioxid-Target, Niobpentoxid-Target, Titandioxid-Target, Hafniumdioxid-Target, Titandiborid-Target, Zirkoniumdiborid-Target, Wolframtrioxid-Target, Aluminiumoxid, Ziel Tantalpentoxid, Niobpentoxid-Target, Magnesiumfluorid-Target, Yttriumfluorid-Target, Zinkselenid-Target, Aluminiumnitrid-Target, Siliziumnitrid-Target, Bornitrid-Target, Titannitrid-Target, Siliziumkarbid-Target , Lithiumniobat-Target, Praseodym-Titanat-Target, Bariumtitanat-Target, Lanthantitanat-Target, Nickeloxid-Target, etc..

Arten von Keramikzielen:

(1) Je nach chemischer Zusammensetzung, es kann in Oxidkeramik-Target unterteilt werden, Silizid-Keramik-Target, Nitrid-Keramik-Target, Fluorid-Keramik-Target und Sulfid-Keramik-Target, usw.. Unter ihnen, das ITO-Keramik-Target mit flachem Display wurde in China weit verbreitet hergestellt und angewendet.

(2) Laut Antrag, es kann in halbleiterbezogene Keramiktargets unterteilt werden, Keramikziele anzeigen, magnetische Aufzeichnungskeramik-Targets, optische Aufzeichnungskeramik-Targets, Supraleitende Keramik-Targets, riesige magnetoresistive Keramikziele, etc..

Keramische Targets machen nur einen sehr kleinen Teil der bestehenden komplexen Elektronikproduktfertigung aus, aber sie spielen eine Rolle als grundlegendes Leitmaterial für die Informationsindustrie..Die elektronische Informationsindustrie meines Landes entwickelt sich rasant, und die Nachfrage nach keramischen Sputtertargets steigt von Jahr zu Jahr. Die zukünftige Forschung und Entwicklung von keramischen Sputtertargets wird ein wichtiges Thema für die Target-Lieferanten unseres Landes sein..

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