Sputtertargets

Technische Parameterliste der mehrschichtigen optischen Beschichtungsmaschine

Modell

GX-1050A

GX-800A

GX-900A

GX1200A

Beschichtungsraumgröße

1050×1250, 304 rostfreier Stahl.

800×1000

Ф900×1050

Ф1200×1250

Innere Größe des Beschichtungshohlraums

Die Halterung befindet sich 1680 mm über dem Boden, geeignet für ergonomische Bedienhöhe.

Die Halterung befindet sich 1468 mm über dem Boden, geeignet für ergonomische Bedienhöhe.

Die Halterung befindet sich 1510 mm über dem Boden, geeignet für ergonomische Bedienhöhe.

1.Gewölbte Einzelwerkstückscheibe, Kunden treffen’ Bedarf an Gleichmäßigkeit in größerem Maße. Rotation 5-30 U / min, stufenlose Geschwindigkeitsänderung.

2.Die gewölbte Drei-Werkstück-Scheibe, Planetenumdrehung und -rotation, um die Bedürfnisse der Kunden nach Produktionskapazität weitestgehend zu erfüllen. Rotation 5-30 U / min, stufenlose Geschwindigkeitsänderung.

Leuchte

Vierteilig erhältlich, der Winkel der Halterung ist einstellbar, um die Bedürfnisse der Kunden nach Einheitlichkeit in größerem Maße zu erfüllen. Rotation 5-30 U / min, stufenlose Geschwindigkeitsänderung.

Gewölbte Einzelwerkstückscheibe, Kunden treffen’ Bedarf an Gleichmäßigkeit in größerem Maße. Rotation 5-30 U / min, stufenlose Geschwindigkeitsänderung.

Vakuumsystem

Einheit: Diffusionspumpe DIP-12000 (Leybold), Wälzkolbenpumpe ZJY-300, mechanische Pumpe 2X-70, Wartungspumpe 2X-8.Die Rohrleitung ist 304 rostfreier Stahl.

Einheit: Diffusionspumpe KT-400 (Zhenhua), Wälzkolbenpumpe ZJY-150, mechanische Pumpe 2X-70, Wartungspumpe 2X-8.

Einheit: Diffusionspumpe KT-600 (Zhenhua), Wälzkolbenpumpe ZJY-600, mechanische Pumpe 2X-70, Wartungspumpe 2X-8.

Einheit: Diffusionspumpe KT-800 (Zhenhua), Wälzkolbenpumpe ZJY-600, mechanische Pumpe 2X-70, Wartungspumpe 2X-8.

Ultimatives Vakuum: besser als 4×10-4 Pa.

Ausgestattet mit Anti-Turbulenz-Vorrichtung, Sicherheitsverriegelungsdesign, manuell und automatisch optional.

Heizungssystem

Heizmethode am Heizrohr, PID-Regelung, maximal 350℃±1.5℃.

Arbeitsgasinflation

Gasmassenstrom-Kontrollinstrument oder manuelle Feineinstellung des Füllventils.

Vakuum-Ionisations-Bombardement

Gleichstrom 3KV, 06KW Stabkathode (dient zur Reinigung des Werkstücks vor dem Beschichten).

Verdampfungsquelle (Optional)

1. TELEMARK-270° Elektronenkanone (importiert), 6KW, Hochspannung 4KV-10KV einstellbar.Positionierungsscan, Dreieckwellenscan, kreisförmiger Scan, Spiralscan.Gute Strahlpunktfokussierung, hohe Positioniergenauigkeit, und gute Scan-Reproduzierbarkeit.

2. Haushaltselektronenkanone (Zhenhua): 6KW, Hochspannung 4KV～8KV einstellbar, kann Dreieckwelle wählen, Sinus, Rechteckwellen-Scannen frei.

3. Tiegel: 6-fach Φ38×20 Tiegel oder 4-fach Φ38×20 plus 1-fach bogenförmiger Tiegel mit einer mittleren Bogenlänge von 87 (verwendet für hohen Verbrauch von Verdampfungsmaterialien mit niedrigem Schmelzpunkt) oder vierfach Φ48×18 Tiegel.

Ionenquelle (Optional)

1. HF (Radiofrequenz) Ionenquelle (Importiert).

2. 5KVA Hall-Ionenquelle (produziert von Zhenhua), zur Reinigung vor dem Galvanisieren oder Hilfsgalvanisieren im Galvanikprozess, was vorteilhaft ist, um den Brechungsindex des Films zu verbessern, die Festigkeit, und die Dichte und Haftung des Films.

Schichtdickenkontrollsystem (Auswahl)

1. MDC-360 Quarz-Controller (importiert) kann 1～99 Schichten des automatischen Beschichtungsprozesses speichern, 99 Arten von Programmdaten, Richtigkeit 0.5%+1? Fehler behoben.2TELEMARK-880 Quarzcontroller (importieren): kann 1～99 Schichten des automatischen Beschichtungsprozesses speichern, 99 Arten von Programmdaten.精度0.5%+1? Fehler behoben.

3. Optischer Controller TELEMARK-820 (importieren): verwendet Multi-Wellenlängen-Vollspektrum-Endpunkt-Analysetechnologie, und beurteilt das Ende des Films durch Analyse der Transmission (oder Reflexionsvermögen) Krümmung des Monitorblattes 370-870 mm.Hohe Regelgenauigkeit, Einzelwellenlängensteuerung, automatische Steuerung und manuelle Steuerung können ebenfalls verwendet werden. Zusätzliche MACILEOD-Filmberechnungssoftware, hoher Integrationsgrad.

4. Der optische Controller TELEMARK-820 und der Kristallcontroller TELEMARK-880 können die Anforderungen einer hochpräzisen und wiederholgenauen Beschichtung erfüllen. Arbeiten Sie mit dem Host-Computer zusammen, um eine vollautomatische Steuerung zu realisieren.

5. Optischer Controller für den Haushalt (wie zum Beispiel 9704 passender Monochromator, etc.), die Wellenlänge ist einstellbar von 330 zu 870, und die Genauigkeit kann ±1.5nm . erreichen.

Kommunikator

Mit Magnetfuß, es kann an jeder Position der Vakuumkammertür und des Schaltschranks platziert werden.

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