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Targets für die Sputterbeschichtung von elektronischen Produkten

2021年10月19日

Elektronische Produkte werden in allen Lebensbereichen verwendet, und die meisten dieser elektronischen Produkte müssen beschichtet werden, bevor sie auf den Markt kommen. Heutzutage, Die am häufigsten verwendete Vakuumbeschichtungsanlage ist eine Magnetron-Sputter-Vakuumbeschichtungsmaschine. Hier, wir kommen Schauen Sie sich die Targets an, die beim Sputtern verwendet werden, Die von uns verwendeten Zielmaterialien sind nicht mehr als drei Arten: Metallziele, Legierungsziele, und zusammengesetzte Ziele..

Es gibt viele Ziele, die in Festplatten verwendet werden. Auf der Aufnahmeoberfläche sind mehrschichtige Filme plattiert. Jeder Film hat seine eigene Funktion. Auf der untersten Schicht, 40nm dickes Chrom oder Chromlegierung wird plattiert, um die Haftung und Korrosionsbeständigkeit zu verbessern. , Und dann in der Mitte mit einer 15 nm dicken Kobalt-Chrom-Legierung plattiert, und dann mit einer 35 nm dicken Kobaltlegierung überzogen, als magnetisches Material, Dieses Material kann die Eigenschaften des Magnetismus und der geringen Interferenz vollständig widerspiegeln, und schließlich mit 15nm dickem Kohlefilm überzogen.

Das Sputter-Target des Magnetkopfes ist eine häufig verwendete Eisen-Nickel-Legierung, und einige neue Verbundmaterialien wurden später hinzugefügt, wie Eisennitrid, Eisen-Tantal-Nitrid, Eisen-Aluminium-Nitrid, etc., die alle hochwertige magnetische dielektrische Filmzielmaterialien sind.

CD-Discs verwenden Aluminiumfolie als reflektierende Schicht, die auf Kunststoffwerkstücken plattiert wird, aber für CDROM- und DVDROM-Discs, Aluminiumfolie kann nicht verwendet werden, weil sich auf diesen Scheiben eine Farbschicht befindet, und die Substanz auf dem Aluminium ist bis zu einem gewissen Grad korrosiv, und es wird im Allgemeinen durch Gold- oder Silberfolie ersetzt.

Die Filmschicht der optischen Disk besteht ebenfalls aus mehreren Schichten. Es ist mit einer 30 nm dicken Aufzeichnungsschicht aus einer Eisen-Kobalt-Legierung auf der Farbstoffschicht beschichtet, die mit amorphen Seltenerd-Übergangselementen vermischt ist, und dann mit a . beschichtet 20 bis 100 nm dicke dielektrische Siliziumnitridschicht. Abschließend mit Aluminium-Reflexionsschicht beschichtet.

Diese elektronischen Produkte, die magnetische Eigenschaften erreichen müssen und Daten aufzeichnen können, um diese Funktionen zu erreichen, müssen sich immer noch auf den Film verlassen, der von verschiedenen Substanzen zerstäubt wird, und die Reihenfolge der Kristallzustände, die angezeigt werden, nachdem der Film gebildet wurde..

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