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Neue Art von Target-Herstellungsverfahren aus Titan-Aluminium-Legierung

2021年10月10日

Derzeit, Die größten Sputtertarget-Produktionsstätten der Welt verwenden zwei verschiedene Methoden zur Herstellung von Sputtertargets aus Aluminiumlegierungen. Hergestellt im Spritzgussverfahren. Soweit bekannte Guss-/Schmiedeverfahren betroffen sind, bei der Herstellung von Sputtertargets aus Aluminiumlegierungen, die Zugabe von Legierungselementen führt häufig zu einer Entmischung der Sputtertargets aus Aluminiumlegierung, was wiederum die Qualität der Sputterfilme verschlechtert und die Oberfläche des Sputtertargets neigt zur Bildung von Mikropartikeln, was sich auch auf die Gleichmäßigkeit der Filmeigenschaften auswirkt. Wenn das Sputtertarget aus einer Aluminiumlegierung durch das bekannte Sprühformverfahren hergestellt wird, obwohl die oben genannten damit verbundenen Nachteile vermieden werden können, es wird das Sputterziel machen Die Produktionskosten werden stark erhöht, insbesondere bei der Herstellung von Sputtertargets, die nicht leicht zu schmieden sind und eine Heißentzerrung verwenden müssen, die Kosten werden durch die Verwendung des heißen Ausgleichs erhöht.

Um den Produktionsprozess von Titan-Aluminium-Legierungs-Targets einfacher und kostengünstiger zu machen, Hier ist eine Methode zur Herstellung von Sputtertargets aus Aluminiumlegierungen mit Gasspritzpulver. Verglichen mit dem Rohstoffpulver des Sputtertargets, das Legierungspulver wird gesiebt, um die entsprechende Pulverpartikelgröße zu erhalten, und schließlich wird das Pulver im Vakuum heißgepresst, um das Sputtertarget aus Aluminiumlegierung herzustellen. Dieses Verfahren zur Herstellung von Sputtertargets aus Aluminiumlegierung mit Luftsprühpulver kann auf die Herstellung verschiedener Sputtertargets aus Aluminiumlegierung angewendet werden (Aluminium-Chrom, Aluminium-Silizium-Kupfer, Aluminium-Titan, etc.). Die bevorzugten Implementierungsschritte sind: Bereitstellung von Metallrohstoffen für die Herstellung von Sputtertargets aus Aluminiumlegierungen und Schmelzen dieser in geschmolzenes Metall; dann, Verwenden Sie das Gassprühverfahren, um aus der Metallschmelze Metallpulver herzustellen; Endlich, Erhitzen Sie die Metallpulver mit Vakuum Ausgeformt in Sputtertargetmaterial aus Aluminiumlegierung, und leiten Sie Inertgas als Schutzgas. Diese Methode kann die Mängel der Materialentmischung und der Mikropartikel vermeiden, und hochwertige Sputtertargets schneller und kostengünstiger machen.

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