Herstellung und Anwendung von PVD-beschichteten Titan-Aluminium-Sputtertargets

Traditionell verwendetes Gießverfahren und pulvermetallurgisches Verfahren zur Herstellung von Targets aus einer Titan-Aluminium-Legierung.

Das Gießverfahren von Targets aus Titan-Aluminium-Legierung kann Porosität und Schrumpfung nicht vermeiden. Großformatige Titan-Aluminium-Gussrohre und -Ingots können die Dicht- und Wasserdichtigkeit bei der Herstellung des Drehrohrziels nicht garantieren, und da die Rohrwand geätzt wird, die Wandstärke ändert sich Dünn, Los- und Schrumpflöcher, solange ein Loch verbunden ist, die Versiegelung wird schlechter, die leichteren werden auslaufen, die Zielröhre beginnt sich zu entladen, oder eine große Menge an Verunreinigungen nimmt an der Reaktion teil und führt dazu, dass der Film abfällt oder die Farbe falsch ist..In schweren Fällen, Wasser wird direkt aus der Schrumpfkavität in die Vakuumkammer eingespritzt, die die reale Kavität und die Vakuumeinheit verschmutzen.

Herstellung von pulvermetallurgischen ProzessenTitan-Aluminium-TargetEs gibt kein Problem mit Porosität und Schrumpfung, aber aus mikroskopischer Sicht der Pulvermetallurgie, es ist auch ein poröses Material, also wenn du machen willstTitan-Aluminium-Drehrohr-Target, Die Anforderungen an die Materialdichte sind sehr streng, die Dichte muss größer sein als 98%, Die Erfüllung der Dichteanforderungen bedeutet jedoch nicht, dass es verwendet werden kann. Wenn der Sauerstoffgehalt des Titan-Aluminium-Barrens hoch und die Mikrostruktur unzumutbar ist, die innere Spannung des Titan-Aluminium-Barrens ist groß, und es ist leicht zu kollabieren, und es kann nicht als rotierendes Rohrziel verwendet werden. Deswegen, Es gibt viele Anforderungen an die Pulverherstellung und das Partikelgrößenverhältnis..Auch wenn diese Bedingungen erfüllt sind, der pulvermetallurgische Titan-Aluminium-Ring muss an das Edelstahlrohr oder das Titanrohr gebunden werden. Aufgrund des großen Wärmeausdehnungskoeffizienten von Titan-Aluminium, die lokale Targetausdehnung kann während des Sputterns Null erreichen..5～1m, Daher kann die traditionelle Methode zum Binden von Barren dieses Problem nicht effektiv lösen. Die Trennung von Titan- und Aluminium-Bindebarren erfolgt, und die thermische Energie der Zieloberfläche kann nicht geleitet werden und platzt..Allerdings, die enge passende Bindung ist unzuverlässig, und die Qualität des plasmagespritzten Targets aus einer Titan-Aluminium-Legierung ist schlecht..

Dekorative Beschichtung Roségold in der Uhr, Schmuck, und Brillenindustrie. Vor kurzem, viele Anforderungen enthalten kein Carbon und machen die darunter liegende Roséfarbe außerdem nah am Gesicht Roségold.. Unserer Meinung nach, TiCN kann die Anforderungen nicht mehr erfüllen. TiAlN ist die perfekte Lösung. Low-End-Uhrenschmuck hat keine Anforderungen an Filmdicke und Glanz. Die meisten von ihnen verwenden Bogen-Titan-Aluminium-Targets, um TiAlN . abzuscheiden. High-End-Markenuhren erfordern eine Dicke von mehr als 1um und Glanz. Kann nicht fallen. Der Lichtbogen wird durch Tröpfchen beeinflusst und hat keinen Vorteil bei glattem und dickem FilmO’KellyAus der Rückmeldung des aktuellen Lieferauftrags ist ersichtlich, dass TiAIN mit einem rotierenden Rohrtarget besser abgeschieden wird, nicht nur die Farbe ist näher an Roségold, aber der Glanz wird nicht beeinträchtigt, wenn die Dicke erhöht wird..