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Wie beeinflusst die relative Dichte und Porosität des Zielmaterials die Qualität der Beschichtung?

2021年10月10日

Die relative Dichte des Targets ist das Verhältnis der tatsächlichen Dichte des Targets zur theoretischen Dichte. Die theoretische Dichte des Einkomponenten-Targets ist die Kristalldichte. Die theoretische Dichte des Legierungs- oder Mischungsziels wird durch die theoretische Dichte jeder Komponente und ihre Zusammensetzung in der Legierung oder Mischung bestimmt. Berechnet nach Prozent. Die Struktur des thermischen Spritztargets ist locker und porös, und der Sauerstoffgehalt ist hoch (auch wenn es Vakuumspritzen ist, es ist schwierig, die Bildung von Oxiden und Nitriden im Legierungstarget zu vermeiden), die oberfläche ist grau, fehlt metallischer Glanz, und adsorbierte Verunreinigungen und Feuchtigkeit sind die Hauptfaktoren. Die Verschmutzungsquelle behindert die schnelle Aufnahme von Hochvakuum, führt leicht zur Entladung während des Sputterprozesses, und verbrennt sogar das Zielmaterial.

Zur selben Zeit, die augenblicklich hohe Temperatur der Sputteroberfläche des Targets führt leicht dazu, dass die losen Partikel abfallen, verschmutzen die Glasoberfläche, und wirken sich auf die Qualität der Beschichtung aus. Für die Punktablösung der beschichteten Glasoberfläche gibt es klare Vorschriften. Je höher die relative Dichte, je schneller die Filmbildungsrate und desto stabiler der Sputterprozess. Je nach Unterschied im Vorbereitungsprozess des Targetmaterials, die relative Dichte des Schmelzguss-Targets sollte garantiert über 98%, und das pulvermetallurgische Ziel sollte garantiert darüber liegen 97% für den Produktionseinsatz..Daher, Es ist notwendig, die Dichte des Zielmaterials streng zu kontrollieren, um das Auftreten von Schlackentropfen zu reduzieren. Das Spritzzielmaterial hat eine geringe Dichte und geringe Vorbereitungskosten. Wenn die relative Dichte mehr als garantieren kann 90%, es hat im Allgemeinen keinen Einfluss auf die Verwendung. Derzeit, die in China verwendeten SiA1-Targets sind allesamt Spraying-Targets..

Neben der Verdichtung, wenn das Zielmaterial während des Produktionsprozesses anormal ist, wie z.B. das Herabfallen von großen Partikeln oder Lunker beim Erhitzen, mehr Poren (innere Mängel) wird gebildet, und das Innere des Zielmaterials erscheint größer (Schmelzziel>2mm, Spritzziel> 0.5mm) oder dichtere Löcher entladen sich aufgrund der Ladungskonzentration, was sich auf die Verwendung auswirkt.Targets mit geringer Dichte und Poren neigen bei der anschließenden Verarbeitung zum Abplatzen., Handhabung oder Installation. Das Zielmaterial mit hoher relativer Dichte und wenigen Poren hat eine gute Wärmeleitfähigkeit, und die Wärme auf der Oberfläche des Sputtertargetmaterials wird einfach und schnell auf die Innenoberfläche des Targetmaterials oder das Kühlwasser im Liner übertragen, und die wärmeableitung ist gut, Dadurch wird die Stabilität des Filmbildungsprozesses sichergestellt.

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