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Erklären Sie das Wissen über Sputtering-Target-Mittelfrequenz-Magnetron-Sputtern

2021年10月10日

Das Magnetron-Sputtern umfasst viele Arten. Jedes hat unterschiedliche Arbeitsprinzipien und Anwendungsobjekte. Aber es gibt eine Gemeinsamkeit: die Wechselwirkung zwischen dem Magnetfeld und den Elektronen lässt die Elektronen spiralförmig um die Targetoberfläche, Dadurch wird die Wahrscheinlichkeit erhöht, dass Elektronen auf das Argongas treffen, um Ionen zu erzeugen. Die erzeugten Ionen kollidieren unter der Wirkung des elektrischen Felds mit der Targetoberfläche, um das Sputtertarget zu zerstäuben, Jeder hat nach und nach Permanentmagnete angenommen, und selten verwendete Spulenmagnete..

Das Prinzip des Zwischenfrequenz-Sputterns ist das gleiche wie das des allgemeinen DC-Sputterns. Der Unterschied besteht darin, dass beim DC-Sputtern die Trommel als Anode verwendet wird, während das Zwischenfrequenz-Sputtern gepaart ist. Ob der Lauf mitmacht, muss durch die Gesamtkonstruktion bestimmt werden, und das gesamte System Während des Sputterprozesses, die Anordnung von Anode und Kathode hängt zusammen. Es gibt viele Möglichkeiten, am Ratio-Zyklus teilzunehmen. Unterschiedliche Verfahren können unterschiedliche Sputterausbeuten und unterschiedliche Ionendichten erzielen..

Die Haupttechnologie des Zwischenfrequenz-Sputterns liegt in der Gestaltung und Anwendung der Stromversorgung. Derzeit, die ausgereifteren Ausgabemethoden sind Sinuswelle und Puls-Rechteckwelle. Jedes hat seine Vor- und Nachteile. Zuerst, Berücksichtigen Sie die Art der Folienschicht und analysieren Sie, welche Stromabgabemethode für welche geeignet ist. Filmschicht, Sie können die Eigenschaften des Netzteils verwenden, um den gewünschten Filmeffekt zu erzielen.

Das Ziel wird für Zwischenfrequenzziele verwendet, und einige Sputter-Targets verwenden drei Paare. Die Targets sind relativ groß. Was die Zwischenfrequenz betrifft, die meisten Werkstücke sind mit etwas Metall beschichtet. Solche Vakuumöfen sind in der Regel relativ groß, die viele Aufgabenteile ablegen können, und der plattierte Film ist dichter..

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