Velkommen til vores hjemmeside
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Industrielle nyheder

» Nyheder » Industrielle nyheder

Princippet om forstøvning af målmagnetronforstøvning

202131 august

 

Magnetron sprutprincip: tilføj et ortogonalt magnetfelt og elektrisk felt mellem det spruttede mål (katode) og anoden, og spruttemålet er fyldt med den nødvendige inerte gas (normalt Ar gas) i højvakuumkammeret. Den permanente magnet danner en 250-350 Gauss magnetfelt på overfladen af ​​målmaterialet, og danner et ortogonalt elektromagnetisk felt med det elektriske højspændingsfelt..

Under virkningen af ​​det elektriske felt, Ar gas ioniserer til positive ioner og elektroner. En vis negativ højspænding påføres målet. Elektronerne, der udsendes fra målet, påvirkes af magnetfeltet, og ioniseringssandsynligheden for arbejdsgassen stiger, danner et plasma med høj densitet nær katoden. Under handling fra Lorentz kraft, Arioner accelererer til måloverfladen og bombarderer måloverfladen med høj hastighed, så atomer, der spruttede ud af målet, følger princippet om momentumomdannelse og flyver væk fra måloverfladen med højere kinetisk energi. Substrataflejring i film. Magnetronforstøvning er generelt opdelt i to typer: DC -forstøvning og radiofrekvensforstøvning. Princippet for DC -forstøvningsudstyr er enkelt. Ved sprut af metal, dens sats er også hurtig..

Anvendelsesområdet for radiofrekvensforstøvning er mere omfattende. Udover at sprutte ledende materialer, ikke-ledende materialer kan også spruttes. På samme tid, den kan også udføre reaktiv forstøvning til fremstilling af sammensatte materialer, såsom oxider, nitrider, og carbider..Når hyppigheden af ​​forstøvningsmålets radiofrekvens øges, det bliver til mikrobølgeovn i plasma. På nuværende tidspunkt, elektroncyklotronresonans (ECR) type mikrobølge plasmaforstøvning er almindeligt anvendt..

Måske kan du også lide

  • Kategorier

  • Seneste nyheder & Blog

  • Del til ven

  • SELSKAB

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantal Niobium Metal Material Co., Ltd.. er en kinesisk virksomhed med speciale i forarbejdning af ikke-jernholdige metaller, betjener globale kunder med produkter af høj kvalitet og perfekt eftersalgsservice.

  • Kontakt os

    Mobil:86-400-660-1855
    E-mail:[email protected] aliyun.com
    Web:www.chn-ti.com