Velkommen til vores hjemmeside
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Nyheder

» Nyheder

Analyse af problemet med forgiftning og formørkning af målhalvdelen efter forstøvning

202131 august

 

Spørgsmål: Reaktiv magnetron -forstøvningsteknologi aflejrer zirkoniumnitridfilm, målet er to tommer, sprutgassen er argon, den reaktive gas er N2, effekten er 300W, radiofrekvensstrømforsyningen, aflejringen er to timer, og målet tages ud efter færdiggørelsen. Se på fænomenet beskrevet i titlen, om det er målforgiftning eller andre årsager, men hvorfor vises kun halvdelen af ​​det?

Årsagsanalyse 1: Det kan være relateret til introduktionen af ​​radiofrekvensstrøm

Årsagsanalyse 2: Sådan et lille mål, to tommer?Er køleuniformen?

Årsagsanalyse 3: 300W effekt tilføjes til et så lille mål, kan afkøling holde op Det er mistanke om, at køling ikke er god, forårsager halvdelen af ​​det sorte!

Årsagsanalyse 4: utilstrækkelig køling. er temperaturen for høj?

Årsagsanalyse 5: Det kan være relateret til den høje effekt. Jeg tør kun øge målets effekt med en diameter på 60 til omkring 100W.

Årsagsanalyse 6: Er strømforsyningen stabil på to timer Det kan være, at energien er for høj, eller det kan være, at siden af ​​målet rører en jordet komponent

Årsagsanalyse 7: Det er mistanke om, at der er et problem med lufttæthed, personligt tænker

Løsning 1: Forslag 1) Kontroller gasens ensartethed; 2) Om der er luftlækage på den ene side?

Løsning 2: Det anbefales at foretage en XPS -analyse, eller gør forsøget igen.

Resumé: Baseret på ovenstående analyse, hovedårsagerne til, at målet bliver forgiftet og sort, er for høj temperatur, ustabil strømforsyning, gasens ensartethed og lufttæthed. Kontroller disse mulige hovedårsager, og fejlfind dem trin for trin.

Måske kan du også lide

  • Kategorier

  • Seneste nyheder & Blog

  • Del til ven

  • SELSKAB

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantal Niobium Metal Material Co., Ltd.. er en kinesisk virksomhed med speciale i forarbejdning af ikke-jernholdige metaller, betjener globale kunder med produkter af høj kvalitet og perfekt eftersalgsservice.

  • Kontakt os

    Mobil:86-400-660-1855
    E-mail:[email protected] aliyun.com
    Web:www.chn-ti.com