Velkommen til vores hjemmeside
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Industrielle nyheder

» Nyheder » Industrielle nyheder

Fordele ved cylindriske og plane magnetron -sprutmål

2021年10月19日

Sammenlignet med andre former for magnetronforstøvningsmål, cylindriske og plane magnetronforstøvningsmål bevarer fordelene ved god belægningens ensartethed for rektangulære flade mål, og kan maksimere målmaterialet gennem følgende to måder Udnyttelsesgrad:

(1) Når de to grupper (fire) af de ringformede gruber på målfladen når en vis dybde, målkernen (magnet del) kan drejes 45 ° i forhold til målrøret, så de andre områder på målrøret, der ikke er tæret, kan være Gør brug af

(2) Når målkernen for det cylindriske og plane magnetron -sprutmål er designet som en roterende målkerne, (målkernen roterer under forstøvning), målmaterialets overflade kan sputse jævnt lag for lag, og der vil ikke være gruber. På dette tidspunkt, målmaterialet vil blive brugt mest effektivt, og udnyttelsesgraden af ​​målmaterialet kan nå 50% til 60%. Når målmaterialet er et ædle metaller, dette er uden tvivl af stor betydning..

Ved at vedtage princippet om magnet og sko i det koaksiale cylindriske magnetron -sprutmål for at løse problemet med slutmagnetfeltet, det rektangulære plane mål kan udvikles til et cylindrisk, plan magnetron sputtering mål, som bevarer belægningen af ​​det rektangulære plane mål Ved god ensartethed, målmaterialets udnyttelsesgrad kan maksimeres, derved forbedre de økonomiske fordele.

Måske kan du også lide

  • Kategorier

  • Seneste nyheder & Blog

  • Del til ven

  • SELSKAB

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantal Niobium Metal Material Co., Ltd.. er en kinesisk virksomhed med speciale i forarbejdning af ikke-jernholdige metaller, betjener globale kunder med produkter af høj kvalitet og perfekt eftersalgsservice.

  • Kontakt os

    Mobil:86-400-660-1855
    E-mail:[email protected] aliyun.com
    Web:www.chn-ti.com