Vítejte na našem webu
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Průmyslové novinky

» Zprávy » Průmyslové novinky

Princip magnetronového rozprašovacího cíle

2021年8月31日

 

Princip naprašování magnetronového naprašování cíle:

Mezi naprašovaný cíl je přidáno ortogonální magnetické pole a elektrické pole (katoda) a anoda, a požadovaný inertní plyn (obvykle Ar plyn) je naplněna ve vakuové komoře. Vytváří se permanentní magnet 250-350 na povrchu cílového materiálu. Gaussovo magnetické pole, a elektrické pole vysokého napětí tvoří ortogonální elektromagnetické pole.

Působením elektrického pole, Plyn Ar ionizuje na kladné ionty a elektrony. Na cíl je aplikováno určité záporné vysoké napětí. Elektrony emitované z cíle jsou ovlivněny magnetickým polem a zvyšuje se pravděpodobnost ionizace pracovního plynu, v blízkosti katody vytváří plazmu s vysokou hustotou. Pod působením Lorentzovy síly, Arionty zrychlují na cílový povrch a bombardují cílový povrch vysokou rychlostí, aby atomy vystříknuté z cíle postupovaly podle principu přeměny hybnosti a odletěly z povrchu cíle s vyšší kinetickou energií. Uložení substrátu do filmu.

Magnetronové naprašování je obecně rozděleno do dvou typů: přítokové a vysokofrekvenční naprašování. Princip zařízení pro naprašování přítoku je jednoduchý, a jeho rychlost je také rychlá při naprašování kovů .. Rozsah použití vysokofrekvenčního naprašování je rozsáhlejší. Kromě rozprašování vodivých materiálů, nevodivé materiály lze také naprašovat. Ve stejnou dobu, může také provádět reaktivní naprašování za účelem přípravy sloučenin, jako jsou oxidy, nitridy, a karbidy..Pokud se zvýší frekvence rádiové frekvence, stane se mikrovlnným plazmovým naprašováním. V současnosti, elektronová cyklotronová rezonance (ECR) běžně se používá mikrovlnné plazmové naprašování..

Možná se vám také líbí

  • Kategorie

  • Nedávné zprávy & Blog

  • Sdílet příteli

  • SPOLEČNOST

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantal Niob Metal Material Co., Ltd.. je čínský podnik specializující se na zpracování barevných kovů, sloužící globálním zákazníkům s vysoce kvalitními produkty a dokonalým poprodejním servisem.

  • Kontaktujte nás

    mobilní, pohybliví:86-400-660-1855
    E-mailem:[email protected] aliyun.com
    Web:www.chn-ti.com