Výroba a aplikace terčových rozprašovacích elektrod potažených PVD

Tradičně používaná metoda odlévání a metoda práškové metalurgie k výrobě terčů ze slitiny titanu a hliníku.

Metoda lití terčů ze slitiny titanu a hliníku se nemůže vyhnout pórovitosti a smršťování. Velkoobjemové titanohliníkové lité trubky a ingoty nemohou zaručit těsnící a vodotěsný účinek při zaměření rotujícího tubusu, a jak je leptána stěna trubice, tloušťka stěny se mění na tenkou, volné a smršťovací otvory, pokud je připojen otvor, těsnění se zhorší, ty lehčí budou prosakovat, cílová trubice se začne vybíjet, nebo se na reakci podílí velké množství nečistot a způsobí pád filmu nebo špatnou barvu..V závažných případech, voda je přímo vstřikována ze smršťovací dutiny do vakuové komory, které kontaminují skutečnou dutinu a vakuovou jednotku.

Výroba procesu práškové metalurgieTitanový hliníkový terčS pórovitostí a smršťováním není problém, ale z mikroskopického hlediska práškové metalurgie, je to také porézní materiál, pokud tedy chcete vyrobitTitanový hliníkový otočný tubus, Požadavky na kompaktnost materiálu jsou velmi přísné, hustota musí být větší než 98%, ale splnění požadavků na hustotu neznamená, že jej lze použít. Pokud je obsah kyslíku v ingotu titanu a hliníku vysoký a mikrostruktura je nepřiměřená, vnitřní napětí titan -hliníkového ingotu je velké, a snadno se zhroutí, a nelze jej použít jako rotující trubkový terč. Proto, na výrobu prášku a poměr velikosti částic existuje mnoho požadavků ... I když jsou tyto podmínky splněny, prsten z práškové metalurgie z titanu a hliníku musí být spojen s trubkou z nerezové oceli nebo s titanovou trubkou. Díky velkému koeficientu tepelné roztažnosti titan hliníku, místní rozpínání cíle může během naprašování dosáhnout nuly..5 ～ 1m, takže tradiční metoda vazby ingotu nemůže tento problém účinně vyřešit. Dochází k separaci slitin titanu a hliníku, a tepelnou energii cílového povrchu nelze vést a praskne..Nicméně, těsná vazba je nespolehlivá, a kvalita cíle z plazmové stříkané slitiny titanu a hliníku je špatná..

Dekorativní povlak růžové zlato v hodinkách, šperky, a brýlový průmysl. Nedávno, mnoho požadavků neobsahuje uhlík a dále činí základní růžovou barvu v blízkosti tváře růžové zlato ... Podle našeho názoru, TiCN již nemůže splňovat požadavky. TiAlN je nejdokonalejší řešení. Low-end hodinky šperky nemá žádné požadavky na tloušťku filmu a lesk. Většina z nich používá k ukládání TiAlN obloukové titanohliníkové terče. Špičkové hodinky značky vyžadují tloušťku větší než 1 um a lesk. Nelze upustit. Oblouk je ovlivněn kapičkami a nemá výhodu v hladkém a silném filmu. OdO'KellyZe zpětné vazby na aktuální objednávku dodávky je patrné, že lepším způsobem je uložení TiAINu s rotujícím tubusovým terčem, nejen barva je bližší růžovému zlatu, ale lesk nebude po zvýšení tloušťky ovlivněn..