Vítejte na našem webu
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Zprávy

» Zprávy

Analýza problému otravy a zčernání cílové poloviny po prskání

2021年8月31日

 

Otázka: Reaktivní technologie magnetronového naprašování ukládá film z nitridu zirkonu, cíl je dva palce, rozprašovací plyn je argon, reaktivní plyn je N2, výkon je 300W, vysokofrekvenční napájecí zdroj, depozice je dvě hodiny, a cíl je po dokončení odstraněn. Podívejte se na jev popsaný v názvu, ať už jde o otravu terčem nebo z jiných důvodů, ale proč se objevuje jen polovina?

Rozbor důvodů 1: Může to souviset se zavedením vysokofrekvenčního výkonu

Rozbor důvodů 2: Takový malý cíl, dva palce?Je chlazení rovnoměrné??

Rozbor důvodů 3: 300K tak malému cíli se přidá výkon W., může chlazení držet krok Je podezření, že chlazení není dobré, způsobující polovinu černé!

Rozbor důvodů 4: nedostatečné chlazení. Je teplota příliš vysoká?

Rozbor důvodů 5: Může to souviset s vysokým výkonem. Troufám si jen zvýšit sílu cíle o průměru 60 do cca 100W.

Analýza příčin 6: Je napájecí zdroj stabilní do dvou hodin Může se stát, že je energie příliš vysoká, nebo se může stát, že se strana cíle dotkne uzemněné součásti

Rozbor důvodů 7: Existuje podezření, že je problém se vzduchotěsností, osobně myslet

Řešení 1: Návrh 1) Zkontrolujte rovnoměrnost plynu; 2) Zda na jedné straně uniká vzduch?

Řešení 2: Doporučuje se provést analýzu XPS, nebo proveďte experiment znovu.

souhrn: Na základě výše uvedené analýzy, hlavními důvody, které způsobují otravu a zčernání cíle, jsou nadměrně vysoké teploty, nestabilní napájení, rovnoměrnost plynu a vzduchotěsnost. Zkontrolujte tyto možné hlavní příčiny, a odstraňovat je krok za krokem.

Možná se vám také líbí

  • Kategorie

  • Nedávné zprávy & Blog

  • Sdílet příteli

  • SPOLEČNOST

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantal Niob Metal Material Co., Ltd.. je čínský podnik specializující se na zpracování barevných kovů, sloužící globálním zákazníkům s vysoce kvalitními produkty a dokonalým poprodejním servisem.

  • Kontaktujte nás

    mobilní, pohybliví:86-400-660-1855
    E-mailem:[email protected] aliyun.com
    Web:www.chn-ti.com