Welcome sa among website
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Balita

» Balita

Ang pagtuki sa problema sa pagkahilo ug pagitum sa target nga katunga pagkahuman sa sputter

2021年8月31日

 

Pangutana: Ang reaktibo nga magnetron sputtering nga teknolohiya nagdeposito sa zirconium nitride film, ang target mao ang duha ka pulgada, ang sputtering gas mao ang argon, ang reaktibo nga gas mao ang N2, ang kusog mao ang 300W, ang suplay sa kuryente sa frequency sa radyo, ang pagdeposito duha ka oras, ug ang target gikuha sa pagkahuman sa pagkompleto. Tan-awa ang panghitabo nga gihulagway sa ulohan, target ba nga pagkahilo o uban pang mga hinungdan, apan ngano katunga ra niini ang makita?

Pagtuki sa katarungan 1: Mahimo kini nga may kalabutan sa pagpaila sa kusog sa frequency sa radyo

Pagtuki sa katarungan 2: Ingon ana ka gamay nga target, duha ka pulgada?Ang nagpabugnaw nga uniporme?

Pagtuki sa katarungan 3: 300Ang gahum nga W gidugang sa usa ka gamay nga target, makapadayon ba ang pagpabugnaw Gidudahan nga dili maayo ang pagpabugnaw, hinungdan sa katunga sa itom!

Pagtuki sa katarungan 4: dili igo nga pagpabugnaw. Labihang kataas ba sa temperatura?

Pagtuki sa katarungan 5: Mahimo kini nga may kalabutan sa taas nga gahum. Nangahas lang ako sa pagdugang sa gahum sa target nga adunay diyametro nga 60 hangtod sa mga 100W.

Hinungdan nga pagtuki 6: Stable ba ang suplay sa kuryente sa duha ka oras mahimo nga kini kusog kaayo, o tingali nga ang kilid sa target nakaabut sa usa ka sangkap nga adunay grounded

Pagtuki sa katarungan 7: Gidudahan nga adunay problema sa kahugot sa hangin, personal nga hunahuna

Solusyon 1: Sugyot 1) Susihon ang pagkaparehas sa gas; 2) Kung adunay ba leakage sa hangin sa usa ka kilid?

Solusyon 2: Girekomenda nga buhaton ang pagsusi sa XPS, o pag-eksperimento usab.

Katingbanan: Pinasukad sa pagtuki sa taas, ang mga punoan nga hinungdan nga nahiloan ang target ug itom nga sobra kataas sa temperatura, dili lig-on nga suplay sa kuryente, pagkapareho sa gas ug kahigpit sa hangin. Susihon ang kini nga posible nga mga hinungdan, ug troubleshoot sila sa lakang.

Basin ganahan sab ka

  • Mga kategoriya

  • Bag-ong Balita & Blog

  • Share sa amigo

  • KOMPANYA

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., Ltd.. usa ka Intsik nga negosyo nga nag-espesyalisar sa pagproseso sa non-ferrous nga mga metal, nagserbisyo sa mga kustomer sa kalibutan nga adunay taas nga kalidad nga mga produkto ug hingpit nga serbisyo pagkahuman sa pagbaligya.

  • Kontaka Kami

    Mobile:86-400-660-1855
    E-mail:[email protected] aliyun.com
    Web:www.chn-ti.com