Dobro došli na našu web stranicu
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Industrijske vijesti

» Vijesti » Industrijske vijesti

Princip raspršivanja ciljanog magnetronskog raspršivanja

202131. avgust

 

Princip raspršivanja magnetronom: dodajte ortogonalno magnetsko polje i električno polje između raspršene mete (katoda) i anoda, a meta za raspršivanje napunjena je potrebnim inertnim plinom (obično Ar gas) u komori sa visokim vakuumom. Trajni magnet formira a 250-350 Gaussovo magnetsko polje na površini ciljnog materijala, i tvori ortogonalno elektromagnetsko polje s visokonaponskim električnim poljem..

Pod djelovanjem električnog polja, Ar plin ionizira u pozitivne ione i elektrone. Na metu se primjenjuje određeni negativni visoki napon. Na elektrone koji se emitiraju iz mete utječe magnetsko polje i povećava se vjerojatnost ionizacije radnog plina, stvarajući plazmu visoke gustoće u blizini katode. Pod djelovanjem Lorentzove sile, Ar ioni ubrzavaju do ciljane površine i velikom brzinom bombardiraju površinu mete, tako da atomi izbačeni iz mete slijede princip pretvaranja impulsa i odlijeću s ciljane površine s većom kinetičkom energijom. Taloženje podloge u film. Magnetronsko raspršivanje općenito se dijeli na dvije vrste: Raspršivanje istosmjernom strujom i radiofrekventno raspršivanje. Princip opreme za raspršivanje istosmjernom strujom je jednostavan. Prilikom prskanja metala, njegova stopa je takođe brza..

Opseg primjene radiofrekventnog raspršivanja je opsežniji. Osim raspršivanja provodljivih materijala, neprovodni materijali se takođe mogu raspršiti. U isto vrijeme, takođe može sprovesti reaktivno raspršivanje za pripremu složenih materijala kao što su oksidi, nitridi, i karbidi..Kada se poveća frekvencija radiofrekvencije mete raspršivanja, postaje mikrotalasno raspršivanje u plazmi. Trenutno, elektronska ciklotronska rezonancija (ECR) obično se koristi mikrovalno plazma raspršivanje..

Možda se i vama sviđa

  • Kategorije

  • Nedavne vijesti & Blog

  • Podijelite s prijateljem

  • COMPANY

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., Ltd. je kinesko preduzeće specijalizirano za preradu obojenih metala, opsluživanje globalnih kupaca visokokvalitetnim proizvodima i savršenom postprodajnom uslugom.

  • Kontaktiraj nas

    Mobilni:86-400-660-1855
    E-mail:[email protected] aliyun.com
    Web:www.chn-ti.com