Dobro došli na našu web stranicu
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Industrijske vijesti

» Vijesti » Industrijske vijesti

Princip magnetronskog raspršivanja meta

202131. avgust

 

Princip raspršivanja ciljanog magnetronskog raspršivanja:

Između raspršene mete dodaju se ortogonalno magnetsko polje i električno polje (katoda) i anoda, i potreban inertni gas (obično Ar gas) se puni u komori visokog vakuuma. Formira se stalni magnet 250-350 na površini ciljnog materijala. Gaussovo magnetsko polje, i visokonaponsko električno polje tvore ortogonalno elektromagnetsko polje.

Pod djelovanjem električnog polja, Ar plin ionizira u pozitivne ione i elektrone. Na metu se primjenjuje određeni negativni visoki napon. Na elektrone koji se emitiraju iz mete utječe magnetsko polje i povećava se vjerojatnost ionizacije radnog plina, stvarajući plazmu visoke gustoće u blizini katode. Pod djelovanjem Lorentzove sile, Ar ioni ubrzavaju do ciljane površine i velikom brzinom bombardiraju površinu mete, tako da atomi izbačeni iz mete slijede princip pretvaranja impulsa i odlijeću s ciljane površine s većom kinetičkom energijom. Taloženje podloge u film.

Magnetronsko raspršivanje općenito se dijeli na dvije vrste: prskanje prskanjem i raspršivanje radio frekvencija. Princip opreme za prskanje pritoka je jednostavan, a njegova brzina je također velika pri raspršivanju metala .. Opseg primjene radiofrekvencijskog raspršivanja je opsežniji. Osim raspršivanja provodljivih materijala, neprovodni materijali se takođe mogu raspršiti. U isto vrijeme, takođe može sprovesti reaktivno raspršivanje za pripremu složenih materijala kao što su oksidi, nitridi, i karbidi..Ako se poveća frekvencija radio frekvencije, postaje mikrotalasno raspršivanje u plazmi. Trenutno, elektronska ciklotronska rezonancija (ECR) obično se koristi mikrovalno plazma raspršivanje..

Možda se i vama sviđa

  • Kategorije

  • Nedavne vijesti & Blog

  • Podijelite s prijateljem

  • COMPANY

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., Ltd. je kinesko preduzeće specijalizirano za preradu obojenih metala, opsluživanje globalnih kupaca visokokvalitetnim proizvodima i savršenom postprodajnom uslugom.

  • Kontaktiraj nas

    Mobilni:86-400-660-1855
    E-mail:[email protected] aliyun.com
    Web:www.chn-ti.com