Добре дошли в нашия уебсайт
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Новини

» Новини

Анализ на проблема с отравяне и почерняване на половината от целта след напръскване

2021年8月31日

 

Въпрос: Технологията на реактивно магнетронно разпръскване отлага циркониев нитриден филм, целта е два инча, разпръскващият газ е аргон, реактивният газ е N2, мощността е 300W, захранването на радиочестотата, отлагането е два часа, и целта се изважда след завършването. Вижте явлението, описано в заглавието, независимо дали е целево отравяне или други причини, но защо се появява само половината от него?

Анализ на причините 1: Това може да е свързано с въвеждането на радиочестотно захранване

Анализ на причините 2: Толкова малка мишена, два инча?Охлаждащата униформа ли е?

Анализ на причините 3: 300W мощност се добавя към такава малка цел, може ли да се поддържа охлаждането Има съмнение, че охлаждането не е добро, причинявайки половината от черното!

Анализ на причините 4: недостатъчно охлаждане. Температурата е твърде висока?

Анализ на причините 5: Може да е свързано с високата мощност. Смея само да увелича силата на целта с диаметър от 60 до около 100W.

Анализ на причините 6: Стабилно ли е захранването за два часа Възможно е енергията да е твърде висока, или може да се окаже, че страната на целта докосва заземен компонент

Анализ на причините 7: Подозира се, че има проблем с херметичността, лично мисля

Решение 1: Внушение 1) Проверете еднородността на газа; 2) Дали има изтичане на въздух от едната страна?

Решение 2: Препоръчително е да направите XPS анализ, или направете експеримента отново.

Резюме: Въз основа на горния анализ, основните причини, които причиняват целта да бъде отровена и черна, са прекомерно висока температура, нестабилно захранване, равномерност на газа и херметичност. Проверете тези възможни основни причини, и ги отстранявайте стъпка по стъпка.

Може би и вие харесвате

  • Категории

  • Последните новини & Блог

  • Споделете с приятел

  • ТЪРГОВСКО ДРУЖЕСТВО

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., Ltd.. е китайско предприятие, специализирано в обработката на цветни метали, обслужване на глобални клиенти с висококачествени продукти и перфектно следпродажбено обслужване.

  • Свържете се с нас

    Подвижен:86-400-660-1855
    Електронна поща:[email protected] aliyun.com
    Уеб:www.chn-ti.com