Сардэчна запрашаем на наш сайт
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Навіны прамысловасці

» Навіны » Навіны прамысловасці

Прынцып распылення мэтавага магнетроннага распылення

2021年8月31日

 

Прынцып распылення магнетрона: дадаць артаганальнае магнітнае поле і электрычнае поле паміж распыленай мішэнню (катод) і анод, і мэта распылення запаўняецца неабходным інертным газам (звычайна газ Ar) у камеры высокага вакууму. Пастаянны магніт утварае а 250-350 Магнітнае поле Гауса на паверхні матэрыялу -мішэні, і ўтварае артаганальнае электрамагнітнае поле з высакавольтным электрычным полем..

Пад дзеяннем электрычнага поля, Ar газ іянізуецца ў станоўчыя іёны і электроны. Да мэты падаецца пэўнае адмоўнае высокае напружанне. Электроны, выпраменьваныя ад мішэні, падвяргаюцца ўздзеянню магнітнага поля, і верагоднасць іянізацыі працоўнага газу павялічваецца, утвараючы каля катода плазму высокай шчыльнасці. Пад дзеяннем сілы Лорэнца, Іёны Ar паскараюцца да паверхні мэты і бамбардуюць паверхню мэты з вялікай хуткасцю, так што атамы, распыленыя з мішэні, прытрымліваюцца прынцыпу пераўтварэння імпульсу і адлятаюць ад паверхні мэты з большай кінетычнай энергіяй. Нанясенне падкладкі ў плёнку. Магнетроннае напыленне звычайна дзеліцца на два тыпу: Распыленне пастаяннага току і радыёчастотнае распыленне. Прынцып абсталявання для распылення пастаяннага току просты. Пры напыленні металу, яго хуткасць таксама хуткая..

Спектр прымянення радыёчастотнага распылення больш шырокі. Акрамя распылення праводзяць матэрыялаў, неправодныя матэрыялы таксама можна распыляць. Адначасова, ён таксама можа праводзіць рэактыўнае распыленне для падрыхтоўкі складаных матэрыялаў, такіх як аксіды, нітрыдаў, і карбіды..Калі частата радыёчастоты распыляльнай мішэні павялічваецца, ён становіцца распыленнем мікрахвалевай плазмы. Зараз, электронна -цыклотронны рэзананс (ECR) Звычайна выкарыстоўваецца тып мікрахвалевай плазменнага распылення..

Магчыма, вам таксама спадабаецца

  • Катэгорыі

  • Апошнія навіны & Блог

  • Падзяліцеся з сябрам

  • КАМПАНІЯ

    Шэньсі Чжунбэй, тытанавы танталавы ніёбіевы металічны матэрыял, Ltd. -гэта кітайскае прадпрыемства, якое спецыялізуецца на перапрацоўцы каляровых металаў, абслугоўванне глабальных кліентаў з прадуктамі высокай якасці і бездакорным сэрвісным абслугоўваннем.

  • Звяжыцеся з намі

    Мабільны:86-400-660-1855
    Электронная пошта:[email protected] aliyun.com
    Інтэрнэт:www.chn-ti.com