Распыленне мішэняў

Спіс тэхнічных параметраў машыны для шматслаёвага аптычнага пакрыцця

мадэль

GX-1050A

GX-800A

GX-900A

GX1200A

Памер пакрыцця

Ф1050 × 1250, 304 Нержавеючая сталь.

Ф800 × 1000

Ф900 × 1050

Ф1200 × 1250

Унутраны памер паражніны пакрыцця

Кранштэйн арматуры знаходзіцца на 1680 мм над зямлёй, падыходзіць для эрганамічнай вышыні працы.

Кранштэйн арматуры знаходзіцца на 1468 мм над зямлёй, падыходзіць для эрганамічнай вышыні працы.

Кранштэйн арматуры знаходзіцца на 1510 мм над зямлёй, падыходзіць для эрганамічнай вышыні працы.

1.Арачны дыск з адной нарыхтоўкі, для задавальнення кліентаў’ патрэбы ў аднастайнасці ў большай ступені. Паварот 5-30r/мін, плаўнае змяненне хуткасці.

2.Арачны дыск з трох загатовак, планетарны пераварот і кручэнне, для задавальнення патрэбаў кліентаў у вытворчай магутнасці ў найбольшай ступені. Кручэнне 5-30r/мін, плаўнае змяненне хуткасці.

Свяцільня

Выпускаецца чатырма штукамі, кут кранштэйна рэгулюецца, каб у большай ступені задаволіць патрэбы кліентаў у аднастайнасці. Кручэнне 5-30 аб/мін, плаўнае змяненне хуткасці.

Арачны дыск з адной нарыхтоўкі, для задавальнення кліентаў’ патрэбы ў аднастайнасці ў большай ступені. Паварот 5-30r/мін, плаўнае змяненне хуткасці.

Вакуумная сістэма

Адзінка: дыфузійны помпа DIP-12000 (Лейболд), Карані помпа ZJY-300, механічны помпа 2Х-70, абслугоўванне помпы 2X-8. Трубаправод 304 Нержавеючая сталь.

Адзінка: Дыфузны помпа КТ-400 (Чжэньхуа), Карані помпа ZJY-150, механічны помпа 2Х-70, абслугоўванне помпы 2X-8.

Адзінка: дыфузійны помпа КТ-600 (Чжэньхуа), Карані помпа ZJY-600, механічны помпа 2Х-70, абслугоўванне помпы 2X-8.

Адзінка: Дыфузны помпа КТ-800 (Чжэньхуа), Карані помпа ZJY-600, механічны помпа 2Х-70, абслугоўванне помпы 2X-8.

Найвышэйшы вакуум: лепш, чым 4 × 10-4 Па.

Абсталяваны прыладай супраць турбулентнасці, канструкцыя блакіроўкі бяспекі, ручной і аўтаматычны па жаданні.

Сістэма ацяплення

Спосаб абагравання на ацяпляльнай трубцы, ПІД -кантроль, максімум 350 ℃ ± 1,5 ℃.

Працоўная інфляцыя газу

Інструмент рэгулявання масавага патоку газу або ручная тонкая налада клапана накачвання.

Вакуумная іянізацыйная бамбардзіроўка

3кВ пастаяннага току, 06Стрыжневы катод KW (выкарыстоўваецца для ачысткі нарыхтоўкі перад пакрыццём).

Крыніца выпарэння (неабавязковы)

1. Электронная гармата TELEMARK-270 ° (імпартныя), 6КВт, высокае напружанне 4KV-10KV рэгулюецца. Размяшчэнне пазіцыі, сканаванне трохвугольнай хвалі, кругавое сканаванне, спіральнае сканаванне. Добрая кропкавая факусоўка, высокая дакладнасць пазіцыянавання, і добрая ўзнаўляльнасць сканавання.

2. Айчынная электронная гармата (Чжэньхуа): 6КВт, высокае напружанне 4KV ～ 8KV рэгулюецца, можна выбраць трохвугольную хвалю, сінусоіда, свабоднае сканаванне квадратнай хвалі.

3. Тыгель: шасціпарожнікавы тыгель Φ38 × 20 ці чатыры паражніны Φ38 × 20 плюс аднапарожнікавы дугападобны тыгель з даўжынёй цэнтральнай дугі 87 (Выкарыстоўваецца для высокага расходу матэрыялаў з нізкай тэмпературай плаўлення) або чатырохкамерны тыгель Φ48 × 18.

Крыніца іёнаў (неабавязковы)

1. РФ (Радыёчастоты) Крыніца іёнаў (Імпартныя).

2. 5Крыніца іёнаў KVA Hall (вытворчасці кампаніі Zhenhua), выкарыстоўваецца для ачысткі перад гальванікай або дапаможным пакрыццём у працэсе гальванікі, што карысна для паляпшэння паказчыка праламлення плёнкі, цвёрдасць, шчыльнасць і адгезія плёнкі.

Сістэма кантролю таўшчыні плёнкі (адбор)

1. Крышталёвы кантролер MDC-360 (імпартныя) можа захоўваць 1 ～ 99 слаёў аўтаматычнага працэсу нанясення пакрыцця, 99 віды дадзеных праграмы, дакладнасць 0.5%+1? Выпраўленая памылка. Крышталёвы кантролер 2TELEMARK-880 (імпарт): можа захоўваць 1 ～ 99 слаёў аўтаматычнага працэсу нанясення пакрыцця, 99 віды дадзеных праграмы. 精度 0,5%+1? Выпраўленая памылка.

3. Аптычны кантролер TELEMARK-820 (імпарт): прымае тэхналогію аналізу канчатковых кропак з многімі хвалямі, і ацэньвае канец фільма, аналізуючы прапусканне (або адбівальная здольнасць) крывая ліста манітора 370-870 мм. Высокая дакладнасць кантролю, кіраванне адной даўжынёй хвалі, можна таксама выкарыстоўваць аўтаматычнае кіраванне і ручное кіраванне. Дадатковае праграмнае забеспячэнне для разліку плёнкі MACILEOD, высокая ступень інтэграцыі.

4. Аптычны кантролер TELEMARK-820 і крышталёвы кантролер TELEMARK-880 могуць адпавядаць патрабаванням высокай дакладнасці і высокай паўтаральнасці пакрыцця..

5. Унутраны аптычны кантролер (такія як 9704 адпаведны монохроматор, і г.д.), даўжыня хвалі рэгулюецца з 330 да 870, і дакладнасць можа дасягаць ± 1,5 нм.

Камунікатар

З магнітнай асновай, яго можна размясціць у любым становішчы дзвярэй вакуумнай камеры і шафы кіравання.

Магчыма, вам таксама спадабаецца