Сардэчна запрашаем на наш сайт
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Навіны прамысловасці

» Навіны » Навіны прамысловасці

Прынцып распылення магнетроннай мішэні

2021年8月31日

 

Прынцып распылення мэтавага магнетроннага распылення:

Паміж распыленай мішэнню дадаюцца артаганальнае магнітнае поле і электрычнае поле (катод) і анод, і неабходны інэртны газ (звычайна газ Ar) запаўняецца ў камеру высокага вакууму. Утвараецца пастаянны магніт 250-350 на паверхні матэрыялу -мішэні. Гаўсава магнітнае поле, і высакавольтнае электрычнае поле ўтварае артаганальнае электрамагнітнае поле.

Пад дзеяннем электрычнага поля, Ar газ іянізуецца ў станоўчыя іёны і электроны. Да мэты падаецца пэўнае адмоўнае высокае напружанне. Электроны, выпраменьваныя ад мішэні, падвяргаюцца ўздзеянню магнітнага поля, і верагоднасць іянізацыі працоўнага газу павялічваецца, утвараючы каля катода плазму высокай шчыльнасці. Пад дзеяннем сілы Лорэнца, Іёны Ar паскараюцца да паверхні мэты і бамбардуюць паверхню мэты з вялікай хуткасцю, так што атамы, распыленыя з мішэні, прытрымліваюцца прынцыпу пераўтварэння імпульсу і адлятаюць ад паверхні мэты з большай кінетычнай энергіяй. Нанясенне падкладкі ў плёнку.

Магнетроннае напыленне звычайна дзеліцца на два тыпу: распыленне прытокаў і радыёчастотнае распыленне. Прынцып абсталявання для распылення прытокаў просты, і яго хуткасць таксама высокая пры распыленні металаў. Спектр прымянення радыёчастотнага распылення больш шырокі. Акрамя распылення праводзяць матэрыялаў, неправодныя матэрыялы таксама можна распыляць. Адначасова, ён таксама можа праводзіць рэактыўнае распыленне для падрыхтоўкі складаных матэрыялаў, такіх як аксіды, нітрыдаў, і карбіды .. Калі частата радыёчастоты павялічваецца, ён становіцца распыленнем мікрахвалевай плазмы. Зараз, электронна -цыклотронны рэзананс (ECR) Звычайна выкарыстоўваецца тып мікрахвалевай плазменнага распылення..

Магчыма, вам таксама спадабаецца

  • Катэгорыі

  • Апошнія навіны & Блог

  • Падзяліцеся з сябрам

  • КАМПАНІЯ

    Шэньсі Чжунбэй, тытанавы танталавы ніёбіевы металічны матэрыял, Ltd. -гэта кітайскае прадпрыемства, якое спецыялізуецца на перапрацоўцы каляровых металаў, абслугоўванне глабальных кліентаў з прадуктамі высокай якасці і бездакорным сэрвісным абслугоўваннем.

  • Звяжыцеся з намі

    Мабільны:86-400-660-1855
    Электронная пошта:[email protected] aliyun.com
    Інтэрнэт:www.chn-ti.com