Сардэчна запрашаем на наш сайт
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Навіны

» Навіны

Аналіз праблемы атручвання і чарнення паловы мішэні пасля пырскання

2021年8月31日

 

Пытанне: Тэхналогія рэактыўнага магнетроннага напылення наносіць плёнку нітрыду цырконію, мэта - два цалі, распыляючы газ - гэта аргон, рэактыўны газ - N2, магутнасць 300 Вт, радыёчастотны блок харчавання, адкладванне складае дзве гадзіны, і мэта дасягаецца пасля завяршэння. Паглядзіце на феномен, апісаны ў назве, ці гэта мэтавае атручэнне, ці іншыя прычыны, але чаму з'яўляецца толькі палова?

Аналіз прычын 1: Гэта можа быць звязана з увядзеннем радыёчастотнага харчавання

Аналіз прычын 2: Такая маленькая мішэнь, два цалі?Ці з'яўляецца астуджэнне раўнамерным?

Аналіз прычын 3: 300Да такой маленькай мэты дадаецца магутнасць Вт, падазраецца, што астуджэнне дрэннае, выклікаючы палову чорнага!

Аналіз прычын 4: недастатковае астуджэнне. Ці занадта высокая тэмпература?

Аналіз прычын 5: Гэта можа быць звязана з высокай магутнасцю. Я адважуся толькі павялічыць магутнасць мэты дыяметрам 60 прыкладна да 100 Вт.

Аналіз прычын 6: Ці з'яўляецца харчаванне стабільным за дзве гадзіны? Магчыма, энергія занадта высокая, ці можа быць так, што бок мішэні датыкаецца з заземленым кампанентам

Аналіз прычын 7: Падазраецца, што існуе праблема з герметычнасцю, асабіста думаю

Рашэнне 1: Прапанова 1) Праверце аднастайнасць газу; 2) Ці ёсць уцечка паветра з аднаго боку?

Рашэнне 2: Рэкамендуецца зрабіць аналіз XPS, або паўторыце эксперымент яшчэ раз.

Рэзюмэ: На падставе прыведзенага аналізу, асноўныя прычыны, якія выклікаюць атручэнне мэты і яе чорны колер, - празмерна высокая тэмпература, нестабільны блок харчавання, аднастайнасць газу і герметычнасць. Праверце гэтыя магчымыя асноўныя прычыны, і ліквідаваць іх непаладкі крок за крокам.

Магчыма, вам таксама спадабаецца

  • Катэгорыі

  • Апошнія навіны & Блог

  • Падзяліцеся з сябрам

  • КАМПАНІЯ

    Шэньсі Чжунбэй, тытанавы танталавы ніёбіевы металічны матэрыял, Ltd. -гэта кітайскае прадпрыемства, якое спецыялізуецца на перапрацоўцы каляровых металаў, абслугоўванне глабальных кліентаў з прадуктамі высокай якасці і бездакорным сэрвісным абслугоўваннем.

  • Звяжыцеся з намі

    Мабільны:86-400-660-1855
    Электронная пошта:[email protected] aliyun.com
    Інтэрнэт:www.chn-ti.com