Hədəfləri səpmək

Çox qatlı optik örtük maşınının texniki parametr siyahısı

model

GX-1050A

GX-800A

GX-900A

GX1200A

Kaplama otağının ölçüsü

F1050 × 1250, 304 Paslanmaz polad.

F800 × 1000

F900 × 1050

F1200 × 1250

Kaplama boşluğunun daxili ölçüsü

Armatur yerdən 1680 mm yüksəklikdədir, erqonomik əməliyyat hündürlüyü üçün uyğundur.

Armatur yerdən 1468 mm yüksəklikdədir, erqonomik əməliyyat hündürlüyü üçün uyğundur.

Armatur yerdən 1510 mm yüksəklikdədir, erqonomik əməliyyat hündürlüyü üçün uyğundur.

1.Tağlı tək iş parçalı disk, müştərilərlə görüşmək’ daha çox dərəcədə vahidliyə ehtiyac duyulur.Rotasiya 5-30r/dəq, addımsız sürət dəyişikliyi.

2.Tağlı üç iş parçası olan disk, planet inqilabı və fırlanma, müştərilərin istehsal gücünə olan ehtiyaclarını ən böyük dərəcədə ödəmək üçün.Rotasiya 5-30r/dəq, addımsız sürət dəyişikliyi.

Armatur

Dörd hissədə mövcuddur, mötərizənin açısı tənzimlənir, müştərilərin vahidliyə olan ehtiyaclarını daha çox ödəmək üçün.Rotasiya 5-30r/dəq, addımsız sürət dəyişikliyi.

Tağlı tək iş parçalı disk, müştərilərlə görüşmək’ daha çox dərəcədə vahidliyə ehtiyac duyulur.Rotasiya 5-30r/dəq, addımsız sürət dəyişikliyi.

Vakuum sistemi

Vahid: diffuziya nasosu DIP-12000 (Leybold), Kök nasosu ZJY-300, mexaniki nasos 2X-70, təmir nasosu 2X-8. Boru kəməri 304 Paslanmaz polad.

Vahid: KT-400 diffuziya nasosu (Zhenhua), Kök nasosu ZJY-150, mexaniki nasos 2X-70, texniki nasos 2X-8.

Vahid: diffuziya nasosu KT-600 (Zhenhua), Kök nasosu ZJY-600, mexaniki nasos 2X-70, texniki nasos 2X-8.

Vahid: KT-800 diffuziya nasosu (Zhenhua), Kök nasosu ZJY-600, mexaniki nasos 2X-70, texniki nasos 2X-8.

Nəhəng vakuum: 4 × 10-4 Pa-dan daha yaxşıdır.

Turbulans əleyhinə cihazla təchiz olunmuşdur, təhlükəsizlik kilidi dizaynı, əl ilə və avtomatik olaraq isteğe bağlıdır.

İstilik sistemi

İstilik borusunda istiləşmə üsulu, PID nəzarət, maksimum 350 ℃ ± 1.5 ℃.

İşləyən qaz inflyasiyası

Qaz kütləsi axını nəzarət aləti və ya inflyasiya valfının əllə incə tənzimlənməsi.

Vakuum ionlaşma bombardmanı

DC 3KV, 06KW çubuq katot (örtülməzdən əvvəl iş parçasını təmizləmək üçün istifadə olunur).

Buxarlanma mənbəyi (isteğe bağlı)

1. TELEMARK-270 ° elektron silah (idxal edilib), 6KVt, yüksək gərginlikli 4KV-10KV tənzimlənə bilər, üçbucaq dalğa taraması, dairəvi tarama, spiral tarama. Yaxşı şüa nöqtəsinə fokuslanma, yüksək yerləşdirmə dəqiqliyi, və yaxşı tarama təkrarlığı.

2. Yerli elektron silah (Zhenhua): 6KVt, yüksək gərginlikli 4KV ～ 8KV tənzimlənə bilər, üçbucaq dalğası seçə bilərsiniz, sinus dalğası, kvadrat dalğa sərbəst şəkildə taranır.

3. Çarpaz: altı boşluqlu Φ38 × 20 pota və ya dörd boşluqlu Φ38 × 20 üstəgəl bir boşluqlu qövs formalı orta qövs uzunluğu 87 (aşağı ərimə nöqtəsi olan buxarlanma materiallarının yüksək istehlakı üçün istifadə olunur) və ya dörd boşluqlu Φ48 × 18 pota.

İon mənbəyi (isteğe bağlı)

1. RF (Radio Tezliyi) İon mənbəyi (İdxal edildi).

2. 5KVA Hall ion mənbəyi (Zhenhua tərəfindən istehsal edilmişdir), elektrokaplama prosesində elektrokaplama və ya köməkçi örtükdən əvvəl təmizləmə üçün istifadə olunur, filmin qırılma indeksini yaxşılaşdırmaq üçün faydalıdır, möhkəmlik, filmin sıxlığı və yapışması.

Film qalınlığına nəzarət sistemi (seçim)

1. MDC-360 kristal nəzarətçi (idxal edilib) 1 ～ 99 qat avtomatik örtük prosesini saxlaya bilər, 99 proqram məlumatlarının növləri, dəqiqlik 0.5%+1? Sabit səhv.2TELEMARK-880 kristal nəzarətçi (idxal): 1 ～ 99 qat avtomatik örtük prosesini saxlaya bilər, 99 proqram məlumatlarının növləri. 精度 0.5%+1? Sabit səhv.

3. TELEMARK-820 optik nəzarətçi (idxal): çox dalğa uzunluğunda tam spektrli son nöqtə analizi texnologiyasını qəbul edir, və keçiriciliyi təhlil edərək filmin sonunu qiymətləndirir (və ya əks etdirmə) monitor vərəqinin əyrisi 370-870 mm.Yüksək nəzarət dəqiqliyi, tək dalğa uzunluğuna nəzarət, avtomatik idarəetmə və əllə idarəetmə də istifadə edilə bilər. Əlavə MACILEOD film hesablama proqramı, yüksək inteqrasiya dərəcəsi.

4. TELEMARK-820 optik nəzarətçi və TELEMARK-880 kristal nəzarətçi yüksək dəqiqlik və yüksək təkrarlanma örtüyünün tələblərinə cavab verə bilər. Tam avtomatik idarəetməni həyata keçirmək üçün ana kompüterlə əməkdaşlıq edin..

5. Yerli optik nəzarətçi (kimi 9704 uyğun monoxromator, və s.), dalğa uzunluğu tənzimlənir 330 -ə 870, və dəqiqlik ± 1.5nm -ə çata bilər.

Kommunikator

Maqnit bazası ilə, vakuum kamerası qapısının və idarəetmə kabinetinin istənilən yerinə yerləşdirilə bilər.

Bəlkə də xoşunuza gəlir