Veb saytımıza xoş gəldiniz
..0086-18429179711 ..[email protected] aliyun.com

Sənaye xəbərləri

» Xəbərlər » Sənaye xəbərləri

Maqnetron püskürtmə hədəfinin səpilməsi prinsipi

2021年8月31日

 

Hədəf magnetron səpmə prinsipi:

Səpələnmiş hədəfin arasına ortogonal bir maqnit sahəsi və elektrik sahəsi əlavə olunur (katod) və anod, və lazım olan inert qaz (ümumiyyətlə qaz) yüksək vakuum kamerasına doldurulur. Daimi maqnit əmələ gəlir 250-350 hədəf materialın səthində. Gauss maqnit sahəsi, və yüksək gərginlikli elektrik sahəsi ortogonal elektromaqnit sahəsi təşkil edir.

Elektrik sahəsinin təsiri altında, Ar qazı müsbət ionlara və elektronlara ionlaşır. Hədəfə müəyyən bir mənfi yüksək gərginlik tətbiq olunur. Hədəfdən yayılan elektronlar maqnit sahəsindən təsirlənir və işləyən qazın ionlaşma ehtimalı artır, katod yaxınlığında yüksək sıxlıqlı bir plazma meydana gətirir. Lorentz qüvvəsinin təsiri altında, Ar ionları hədəf səthinə sürətlənir və yüksək sürətlə hədəf səthini bombalayır, Hədəfdən səpələnmiş atomlar təcil dönüşüm prinsipinə əməl edir və daha yüksək kinetik enerji ilə hədəf səthindən uçur.. Filmə substratın çökməsi.

Magnetron püskürtmə ümumiyyətlə iki növə bölünür: qolun tökülməsi və radio tezliyinin səpilməsi. Kolların tökülməsi üçün avadanlıqların işləmə prinsipi sadədir, və metal səpərkən tezliyi də yüksəkdir..Radio tezliyinin səpilməsinin tətbiq dairəsi daha genişdir. Səpələnən keçirici materiallara əlavə olaraq, keçirici olmayan materiallar da tökülə bilər. Eyni vaxtda, oksidlər kimi mürəkkəb materialların hazırlanması üçün də reaktiv səpinti apara bilər, nitridlər, və karbidlər .. Radio tezliyinin tezliyi artarsa, mikrodalğalı plazma səpilməsinə çevrilir. Hal hazırda, elektron siklotron rezonans (ECR) tipli mikrodalğalı plazma püskürtmə tez -tez istifadə olunur..

Bəlkə də xoşunuza gəlir

  • Kateqoriyalar

  • Son Xəbərlər & Blog

  • Dostuna paylaş

  • ŞİRKƏT

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantal Niobium Metal Material Co., Ltd. əlvan metalların emalı üzrə ixtisaslaşmış Çin müəssisəsidir, yüksək keyfiyyətli məhsullar və mükəmməl satış sonrası xidməti ilə qlobal müştərilərə xidmət.

  • Bizimlə əlaqə saxlayın

    Mobil:86-400-660-1855
    E-poçt:[email protected] aliyun.com
    Veb:www.chn-ti.com