أهلا في موقعنا
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

أخبار صناعية

» أخبار » أخبار صناعية

مبدأ الاخرق المغنطرون الهدف الاخرق

202131 أغسطس

 

مبدأ الاخرق الهدف المغنطرون الاخرق:

تمت إضافة مجال مغناطيسي متعامد ومجال كهربائي بين الهدف المبعثر (الكاثود) والأنود, والغاز الخامل المطلوب (عادة Ar gas) يملأ في غرفة الفراغ العالية. يتشكل المغناطيس الدائم 250-350 على سطح المادة المستهدفة. المجال المغناطيسي الغاوسي, ويشكل المجال الكهربائي عالي الجهد مجالًا كهرومغناطيسيًا متعامدًا.

تحت تأثير المجال الكهربائي, يتأين غاز Ar إلى أيونات وإلكترونات موجبة. يتم تطبيق جهد مرتفع سلبي معين على الهدف. تتأثر الإلكترونات المنبعثة من الهدف بالمجال المغناطيسي ويزداد احتمال تأين غاز العمل, تشكيل بلازما عالية الكثافة بالقرب من الكاثود. تحت تأثير قوة لورنتز, تتسارع أيونات الأيونات إلى سطح الهدف وتقصف سطح الهدف بسرعة عالية, بحيث أن الذرات المتناثرة من الهدف تتبع مبدأ تحويل الزخم وتطير بعيدًا عن السطح المستهدف بطاقة حركية أعلى. ترسب الركيزة في الفيلم.

ينقسم رش المغنطرون بشكل عام إلى نوعين: الاخرق رافد وترددات الراديو. مبدأ معدات الرش الرافد بسيط, ومعدلها سريع أيضًا عند رش المعادن .. نطاق تطبيق رشاش التردد اللاسلكي أكثر شمولاً. بالإضافة إلى رش المواد الموصلة, يمكن أيضًا رش المواد غير الموصلة. في نفس الوقت, يمكنه أيضًا إجراء رشاش تفاعلي لتحضير المواد المركبة مثل الأكاسيد, نيتريد, والكربيدات .. في حالة زيادة تردد الراديو, يتحول إلى البلازما في الميكروويف. في الوقت الحالي, رنين السيكلوترون الإلكتروني (ECR) يشيع استخدام الاخرق البلازما من نوع الميكروويف..

ربما يعجبك ايضا

  • فئات

  • أخبار حديثة & مقالات

  • شارك مع صديق

  • شركة

    شنشى تشونغبي التيتانيوم التنتالوم النيوبيوم شركة المواد المعدنية., المحدودة. هي مؤسسة صينية متخصصة في معالجة المعادن غير الحديدية, خدمة العملاء العالميين بمنتجات عالية الجودة وخدمة ما بعد البيع المثالية.

  • اتصل بنا

    التليفون المحمول:86-400-660-1855
    بريد إلكتروني:[email protected] aliyun.com
    الويب:www.chn-ti.com