Sputtende teikens

Tegniese parameterlys van multilayer optiese dekmasjien

model

GX-1050A

GX-800A

GX-900A

GX1200A

Bedekking grootte

Ф1050 × 1250, 304 vleklose staal.

Ф 800 × 1000

Ф900 × 1050

Ф1200 × 1250

Binne grootte van die deklaag

Die bevestigingsteun is 1680 mm bo die grond, geskik vir ergonomiese bedieningshoogte.

Die bevestigingsteun is 1468 mm bo die grond, geskik vir ergonomiese bedieningshoogte.

Die bevestigingsteun is 1510 mm bo die grond, geskik vir ergonomiese bedieningshoogte.

1.Geboë enkelwerkstukskyf, kliënte te ontmoet’ behoefte aan eenvormigheid in 'n groter mate.Rotasie 5-30r/min, traploze spoedverandering.

2.Die geboë skyf met drie werkstukke, planetêre revolusie en rotasie, om in die grootste mate aan die behoeftes van kliënte vir produksievermoë te voldoen.Rotasie 5-30r/min, traploze spoedverandering.

Bevestiging

Beskikbaar in vier stukke, die hoek van die hakie is verstelbaar, om in 'n groter mate aan die behoeftes van kliënte te voldoen vir uniformiteit.Rotasie 5-30r/min, traploze spoedverandering.

Geboë enkelwerkstukskyf, kliënte te ontmoet’ behoefte aan eenvormigheid in 'n groter mate.Rotasie 5-30r/min, traploze spoedverandering.

Vakuumstelsel

Eenheid: diffusiepomp DIP-12000 (Leybold), Wortels pomp ZJY-300, meganiese pomp 2X-70, onderhoudspomp 2X-8.Die pypleiding is 304 vleklose staal.

Eenheid: Verspreidingspomp KT-400 (Zhenhua), Wortels pomp ZJY-150, meganiese pomp 2X-70, onderhoudspomp 2X-8.

Eenheid: diffusiepomp KT-600 (Zhenhua), Wortels pomp ZJY-600, meganiese pomp 2X-70, onderhoudspomp 2X-8.

Eenheid: Verspreidingspomp KT-800 (Zhenhua), Wortels pomp ZJY-600, meganiese pomp 2X-70, onderhoudspomp 2X-8.

Uiteindelike vakuum: beter as 4 × 10-4 Pa.

Uitgerus met 'n anti-turbulensie-toestel, veiligheidsvergrendeling ontwerp, handmatig en outomaties opsioneel.

Verhitting stelsel

Verwarmingsmetode op verwarmingsbuis, PID beheer, maksimum 350 ℃ ± 1.5 ℃.

Werkgasinflasie

Gasmassavloeibeheerinstrument of handmatige fynstelling van die opblaasklep.

Vakuum ionisasie bombardement

DC 3KV, 06KW staaf katode (word gebruik om die werkstuk skoon te maak voordat dit bedek word).

Verdampingsbron (opsioneel)

1. TELEMARK-270 ° elektrongeweer (ingevoer), 6KW, hoogspanning 4KV-10KV verstelbaar.Posisioneringsskandering, driehoek golf skandering, sirkelvormige skandering, spiraalskandering.Goeie straalvlek fokus, hoë posisionerings akkuraatheid, en goeie reproduceerbaarheid van skanderings.

2. Huishoudelike elektrongeweer (Zhenhua): 6KW, hoë spanning 4KV ～ 8KV verstelbaar, kan driehoekgolf kies, sinusgolf, vierkantige golf wat vrylik skandeer.

3. Smeltkroes: ses-Φ38 × 20 smeltkroes of vier-holte Φ38 × 20 plus een-holte boogvormige smeltkroes met 'n middelste booglengte van 87 (gebruik vir hoë verbruik van verdampingsmateriaal met 'n lae smeltpunt) of smeltkroes four48 × 18 met vier holtes.

Ion bron (opsioneel)

1. RF (Radio frekwensie) Ion Bron (Ingevoer).

2. 5KVA Hall ion bron (vervaardig deur Zhenhua), word gebruik vir die skoonmaak voor galvanisering of hulpplatering in die galvaniseerproses, wat voordelig is om die brekingsindeks van die film te verbeter, die fermheid, en die digtheid en adhesie van die film.

Film dikte beheer stelsel (keuse)

1. MDC-360 kristalbeheerder (ingevoer) kan 1 ～ 99 lae outomatiese deklaagproses stoor, 99 soorte programdata, akkuraatheid 0.5%+1? Vaste fout. 2TELEMARK-880 kristalbeheerder (invoer): kan 1 ～ 99 lae outomatiese deklaagproses stoor, 99 soorte programdata. 精度 0,5%+1? Fout reggestel.

3. TELEMARK-820 optiese kontroleerder (invoer): gebruik multi-golflengte volle spektrum eindpunt analise tegnologie, en beoordeel die einde van die film deur die transmissie te ontleed (of reflektansie) kromme van die monitorblad 370-870 mm.Hoë beheer akkuraatheid, enkele golflengte beheer, outomatiese beheer en handmatige beheer kan ook gebruik word.Bykomende sagteware vir filmberekening van MACILEOD, hoë mate van integrasie.

4. TELEMARK-820 optiese kontroleerder en TELEMARK-880 kristalbeheerder kan aan die vereistes van hoë presisie en hoë herhaalbaarheidsbedekking voldoen..

5. Binnelandse optiese kontroleerder (soos 9704 bypassende monochromator, ens.), die golflengte is verstelbaar vanaf 330 aan 870, en die akkuraatheid kan ± 1.5nm bereik.

Kommunikeerder

Met magnetiese basis, dit kan op enige posisie van die vakuumkamerdeur en beheerkas geplaas word.

Miskien hou jy ook daarvan