Welkom by ons webwerf
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Industriële nuus

» Nuus » Industriële nuus

Beginsel van magnetron sputtering sputtering teiken

2021年8月31日

 

Beginsel van sputtering van teikenmagnetron -sputtering:

'N Ortogonale magnetiese veld en 'n elektriese veld word bygevoeg tussen die gestampte teiken (katode) en die anode, en die vereiste inerte gas (gewoonlik Ar gas) word in die hoë vakuumkamer gevul. Die permanente magneet vorm 250-350 op die oppervlak van die teikenmateriaal. Die Gaussiese magnetiese veld, en die hoogspanning elektriese veld vorm 'n ortogonale elektromagnetiese veld.

Onder die werking van die elektriese veld, Ar gas ioniseer in positiewe ione en elektrone. 'N Sekere negatiewe hoogspanning word op die teiken toegepas. Die elektrone wat deur die teiken uitgestraal word, word beïnvloed deur die magnetiese veld en die ionisasie -waarskynlikheid van die werkgas neem toe, 'n plasma met 'n hoë digtheid naby die katode vorm. Onder die aksie van Lorentz -mag, Arione versnel na die teikenoppervlak en bombardeer die teikenoppervlak teen 'n hoë spoed, sodat die atome wat uit die teiken gespat is, die beginsel van momentumomskakeling volg en met hoër kinetiese energie van die teikenoppervlak af wegvlieg. Substraat neerslag in film.

Magnetron sputtering is oor die algemeen verdeel in twee tipes: sytaksputtering en radiofrekwensie -sputtering. Die beginsel van sytak -toerusting is eenvoudig, en die snelheid daarvan is ook vinnig wanneer metale gesput word .. Die toepassingsreeks van radiofrekwensie -sputtering is groter. Benewens die sputtering van geleidende materiale, nie-geleidende materiale kan ook gespuit word. Op dieselfde tyd, dit kan ook reaktiewe sputtering voer om saamgestelde materiale soos oksiede voor te berei, nitriede, en karbiede..As die frekwensie van die radiofrekwensie verhoog word, dit word mikrogolfplasma sputter. Huidiglik, elektron siklotronresonansie (ECR) tipe mikrogolfplasma -sputtering word algemeen gebruik..

Miskien hou jy ook daarvan

  • Kategorieë

  • Onlangse nuus & Blog

  • Deel met 'n vriend

  • MAATSKAPPY

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., Bpk. is 'n Chinese onderneming wat spesialiseer in die verwerking van nie-ysterhoudende metale, wêreldwye kliënte bedien met produkte van hoë gehalte en perfekte diens na verkoop.

  • Kontak Ons

    Mobiel:86-400-660-1855
    E-pos:[email protected] aliyun.com
    Web:www.chn-ti.com