Welkom by ons webwerf
0086-18429179711 [email protected] aliyun.com

Industriële nuus

» Nuus » Industriële nuus

Verduidelik die kennis van sputtering van teiken mediumfrekwensie magnetron sputtering

2021年10月10日

Magnetron sputtering bevat baie tipes. Elkeen het verskillende werkbeginsels en toepassingsvoorwerpe, maar daar is een ding gemeen: die interaksie tussen die magnetiese veld en die elektrone laat die elektrone om die teikenoppervlak draai, daardeur word die waarskynlikheid verhoog dat elektrone die argongas tref om ione te produseer ... Die gegenereerde ione bots met die teikenoppervlak onder die werking van die elektriese veld om die sputteringsteiken te laat spat. In die afgelope dekades van ontwikkeling, almal het geleidelik permanente magnete aangeneem, en selde magnetiese spoelmagnete..

Die beginsel van intermediêre frekwensie -sputtering is dieselfde as dié van algemene GS -sputtering. Die verskil is dat DC -sputtering die loop as die anode gebruik, terwyl die tussenfrekwensie -sputtering gepaard gaan. Of die vat deelneem, moet bepaal word deur die algehele ontwerp, en die hele stelsel Gedurende die sputsproses, die rangskikking van die anode en katode hou verband. Daar is baie maniere om aan die verhoudingsiklus deel te neem. Verskillende metodes kan verskillende sputteropbrengste en verskillende ioondigthede verkry..

Die belangrikste tegnologie van intermediêre frekwensieverstuiwing lê in die ontwerp en toepassing van die kragtoevoer. Huidiglik, die meer volwasse uitsetmetodes is sinusgolf en pulsvierkantgolf. Elkeen het sy voor- en nadele. Eerstens, oorweeg die tipe filmlaag en ontleed watter effektiemetode geskik is. Filmlaag, u kan die eienskappe van die kragtoevoer gebruik om die gewenste filmeffek te kry.

Die teiken word gebruik vir intermediêre frekwensieteikens, en sommige sputtereikens gebruik drie pare. Die teikens is relatief groot. Wat die tussenfrekwensie betref, die meeste werkstukke is bedek met metaal ... Sulke vakuumoonde word oor die algemeen relatief groot gemaak, wat baie taakonderdele kan neerlê, en die bedekte film is digter..

Miskien hou jy ook daarvan

  • Kategorieë

  • Onlangse nuus & Blog

  • Deel met 'n vriend

  • MAATSKAPPY

    Shaanxi Zhongbei Titanium Tantalum Niobium Metal Material Co., Bpk. is 'n Chinese onderneming wat spesialiseer in die verwerking van nie-ysterhoudende metale, wêreldwye kliënte bedien met produkte van hoë gehalte en perfekte diens na verkoop.

  • Kontak Ons

    Mobiel:86-400-660-1855
    E-pos:[email protected] aliyun.com
    Web:www.chn-ti.com